[实用新型]定向自旋等离子体激励器有效
申请号: | 201420198420.0 | 申请日: | 2014-04-22 |
公开(公告)号: | CN203884064U | 公开(公告)日: | 2014-10-15 |
发明(设计)人: | 王红飞;杨利青;周倩倩;刘欢;王浩静;张洪 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | H05H1/24 | 分类号: | H05H1/24 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 姚敏杰 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 定向 自旋 等离子体 激励 | ||
1.一种定向自旋等离子体激励器,其特征在于:所述定向自旋等离子体激励器包括有气流入口以及气流出口的绝缘管、环绕设置在绝缘管上的电极组件以及与电极组件相连的高压电源;所述电极组件包括分别以螺旋方式设置在绝缘管内壁的正电极条以及设置在绝缘管外壁上或掩埋设置在绝缘管的负电极条;所述正电极条与负电极条相互平行;所述正电极条以及负电极条分别与高压电源相连。
2.根据权利要求1所述的定向自旋等离子体激励器,其特征在于:所述正电极条和负电极条均与入口平面角度相一致;所述电极条与入口平面相对角度是30°~60°;所述正电极条和负电极条均是单螺旋对或多螺旋对;所述正电极条和负电极条均采用多螺旋对时,所述多对正电极条或负电极条分别并联后与高压电源相连。
3.根据权利要求2所述的定向自旋等离子体激励器,其特征在于:所述正电极条的宽度范围是1mm~3mm;所述负电极条的宽度是正电极条宽度的2~4倍。
4.根据权利要求3所述的定向自旋等离子体激励器,其特征在于:所述相邻正电极条与负电极条之间设置有电极间隙;所述电极间隙的范围是0mm~2mm。
5.根据权利要求4所述的定向自旋等离子体激励器,其特征在于:所述绝缘管是聚酰亚胺管、聚四氟乙烯管、氧化铝陶瓷管或石英管;所述绝缘管的壁厚范围是0.6mm~3mm;所述正电极条以及负电极条均是钌电极条、铑电极条、钯电极条或铜电极条。
6.根据权利要求1-5任一权利要求所述的定向自旋等离子体激励器,其特征在于:所述高压电源的输出电压的调整范围是3kV~30kV;所述高压电源的频率输出范围是3kHz~15kHz。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院西安光学精密机械研究所,未经中国科学院西安光学精密机械研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201420198420.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:柔性覆铜板节能快速熟化装置
- 下一篇:纯电阻式调光电路