[实用新型]一种二极管双洗转换自动化设备有效
| 申请号： | 201420191180.1 | 申请日： | 2014-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN204088265U | 公开（公告）日： | 2015-01-07 |
| 发明（设计）人： | 徐康 | 申请（专利权）人： | 常州泰坦机械有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02;H01L21/677;B08B3/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213034 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 二极管 转换 自动化 设备 | ||
1.一种二极管双洗转换自动化设备，包括控制柜(14)，所述的控制柜(14)上面设有控制台(10)，其特征在于：所述的控制台(10)包括操作台、左侧上料机构、右侧上料机构和上胶条机构，所述的操作台位于控制台(10)的一侧面，所述的上胶条机构位于控制台(10)上面的中部，所述的上胶条机构的左侧为左侧上料机构，右侧为右侧上料机构。
2.根据权利要求1所述的二极管双洗转换自动化设备，其特征在于：所述的控制台(10)上还包括垂直安装于控制台(10)的龙门立板(5)。
3.根据权利要求1所述的二极管双洗转换自动化设备，其特征在于：所述的左侧上料机构包括相互垂直设置的X2轴机械手(1)、Y2轴机械手(6)和Z2轴机械手(2)。
4.根据权利要求1所述的二极管双洗转换自动化设备，其特征在于：所述的右侧上料机构包括相互垂直设置的X1轴机械手(8)、Y1轴机械手(9)和Z1轴机械手(3)。
5.根据权利要求2所述的二极管双洗转换自动化设备，其特征在于：所述的龙门立板(5)上安装有X1轴机械手(8)、X2轴机械手(1)和固定式摄像头(4)。
6.根据权利要求5所述的二极管双洗转换自动化设备，其特征在于：所述的X1轴机械手(8)的滑台安装板上设有Z1轴机械手(3)，所述的X2轴机械手(1)的滑台安装板上设有Z2轴机械手(2)，所述的Z1轴机械手(3)和Z2轴机械手(2)的滑台安装板上安装有专用治具(11)。
7.根据权利要求5所述的二极管双洗转换自动化设备，其特征在于：所述的龙门立板(5)的下面设有垂直于X1轴机械手(8)、X2轴机械手(1)和Z1轴机械手(3)、Z2轴机械手(2)的Y1轴机械手(9)、Y2轴机械手(6)和Y3轴机械手(7)，所述的Y1轴机械手(9)、Y2轴机械手(6)上设有酸洗板工作台(12)，Y3轴机械手(7)上设有烘烤板工作台(13)。
8.根据权利要求5所述的二极管双洗转换自动化设备，其特征在于：所述的固定式摄像头(4)为CCD工业摄像头。
9.根据权利要求5所述的二极管双洗转换自动化设备，其特征在于：所述的X1轴机械手(8)、X2轴机械手(1)、Y1轴机械手(9)、Y2轴机械手(6)、 Y3轴机械手(7)、Z1轴机械手(3)和Z2轴机械手(2)分别设有独立的驱动装置。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
