[实用新型]用于将钝化涂层涂敷于晶圆的涂覆装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于将钝化涂层涂敷于晶圆的涂覆装置。

背景技术

在接触金属（contact metallization）形成于晶圆的端子面之前，用于生产芯片的晶圆设置有钝化涂层。涂层的涂敷以及特别是涂敷涂层之后的晶圆表面上的涂层的干燥需要利用相应数量的设备对晶圆进行复杂的操作。

实用新型内容

本实用新型基于提出一种用于在晶圆表面上制造涂层的装置的目的，该装置一方面具有紧凑的结构且另一方面允许成本有效地工业生产晶圆表面的涂层。

本实用新型的用于将钝化涂层涂敷于晶圆的涂覆装置包括如下技术方案：

（1），提供一种用于将钝化涂层涂敷于晶圆的涂覆装置，包括：输入/输出站，该输入/输出站用于为所述涂覆装置提供第一传送保持件和第二传送保持件，该第一传送保持件用于提供多个晶圆，该第二传送保持件用于从所述涂覆装置移出所述晶圆；涂覆站，所述涂覆站包括：用于容纳晶圆的转盘；以及涂敷器，其用于将一定数量的钝化剂涂敷于配置于所述转盘的晶圆的中心部分；干燥装置的至少一个干燥站，用于干燥已通过所述转盘的转动分散到晶圆表面的钝化涂层；以及操纵装置，所述操纵装置包括操作臂，该操作臂能够围绕所述涂覆装置的转动轴枢转，该操作臂用于从配置于所述输入/输出站中的所述第一传送保持件拾起晶圆，将所述晶圆定位于所述涂覆站中和所述干燥站中，以及将所述晶圆放置于配置在所述输入/输出站中的所述第二传送保持件。

（2）根据上述（1）所述的涂覆装置，所述操纵装置的所述操作臂设置有传感器单元，该传感器单元用于检测配置于所述第一传送保持件中的各个晶圆。

（3）根据上述（1）或（2）所述的涂覆装置，所述操纵装置被实施为摆动臂机械人，所述操纵装置包括所述操作臂的高度能调节的枢轴基底、所述操作臂的第一摆动臂部分、所述操作臂的第二摆动臂部分以及操作端，所述枢轴基底配置于所述涂覆装置的转动轴，所述第一摆动臂部分连接于所述枢轴基底，所述第二摆动臂部分连接于所述第一摆动臂部分的远离所述枢轴基底的端部，所述操作端能枢转地连接于所述第二摆动臂部分的自由端且设置有至少一个抽吸开口，所述抽吸开口能够形成负压。

（4）根据上述（1）至（3）中任一方面所述的涂覆装置，所述干燥装置具有多个干燥站。

（5）根据上述（1）至（4）中任一方面所述的涂覆装置，所述涂敷器能够以使得其涂敷端到达所述转盘的上方的方式枢转，以使所述涂敷端配置于所述转盘的转轴的上方。

（6）根据上述（1）至（5）中任一方面所述的涂覆装置，所述至少一个干燥站具有加热装置，所述加热装置被实施为接触板，通过所述操纵装置能够将所述晶圆载置在所述接触板上。

根据本实用新型的涂覆装置允许将被实施为输入/输出站的装置的外部接口以及装置的其他站以中心转轴为中心配置，该涂覆装置具有操纵装置，该操纵装置可绕转轴枢转，随后允许把持晶圆并将晶圆传送至装置的所有站中，操纵装置允许将待涂覆的晶圆从配置于输入/输入站中的第一传送保持件移出，且还允许将晶圆随后定位于装置的所有站中，且还允许将最终被涂覆的晶圆放置在第二传送保持件中，该第二传送保持件也位于装置的输入/输出站中。

如果拾起各个晶圆的操纵装置的操作臂设置有传感器装置，则是特别有利的，该传感器装置用于检测配置于第一传送保持件中的各个晶圆。因此，能够在涂覆装置中进行处理循环之前，检测配置于传送保持件中的晶圆的数量以及晶圆在传送保持件中的位置。因此，确保了装置中进行的涂覆处理不会由于缺少晶圆或不适当地定位晶圆而必须被中断。替代地，一旦传送保持件被定位于输入/输出站且完成传送保持件中的晶圆的检测，能够在对外界密封的装置中进行进一步的处理，而不必在正在运行的工序中介入临时操作。事实上，直到在工序的开始包含于第一传送保持件中的所有晶圆都已被涂覆且定位于第二传送保持件中并且第二传送保持件可从输入/输出站移出为止，操作者的接着的操作步骤都不是必须的。

特别有利的是，所述操纵装置被实施为摆动臂机械人，所述操纵装置包括所述操作臂的高度能调节的枢轴基底、所述操作臂的第一摆动臂部分、所述操作臂的第二摆动臂部分以及操作端，所述枢轴基底配置于所述涂覆装置的转动轴，所述第一摆动臂部分连接于所述基底，所述第二摆动臂部分连接于所述第一摆动臂部分的远离所述基底的端部，所述操作端可枢转地连接于所述第二摆动臂部分的自由端且设置有至少一个抽吸开口，所述抽吸开口能够形成负压。