[实用新型]用于将钝化涂层涂敷于晶圆的涂覆装置

权利要求书

1.一种用于将钝化涂层涂敷于晶圆的涂覆装置，其特征在于，所述涂覆装置包括：

输入/输出站（13），该输入/输出站（13）用于为所述涂覆装置提供第一传送保持件（33）和第二传送保持件（34），该第一传送保持件（33）用于提供多个晶圆，该第二传送保持件（34）用于从所述涂覆装置移出所述晶圆；

涂覆站（14），所述涂覆站（14）包括：用于容纳晶圆的转盘（38）；以及涂敷器（39），其用于将一定数量的钝化剂涂敷于配置于所述转盘的晶圆的中心部分；

干燥装置（15）的至少一个干燥站（16、17、18、19、20），用于干燥已通过所述转盘的转动分散到晶圆表面的钝化涂层；以及

操纵装置（22），所述操纵装置（22）包括操作臂（24），该操作臂（24）能够围绕所述涂覆装置的转动轴（23）枢转，该操作臂（24）用于从配置于所述输入/输出站（13）中的所述第一传送保持件（33）拾起晶圆，将所述晶圆定位于所述涂覆站（14）中和所述干燥站（16）中，以及将所述晶圆放置于配置在所述输入/输出站中的所述第二传送保持件（34）。

2.根据权利要求1所述的涂覆装置，其特征在于，

所述操纵装置（22）的所述操作臂（24）设置有传感器单元（31），该传感器单元（31）用于检测配置于所述第一传送保持件（33）中的各个晶圆。

3.根据权利要求1所述的涂覆装置，其特征在于，

所述操纵装置（22）被实施为摆动臂机械人，所述操纵装置（22）包括所述操作臂（24）的高度能调节的枢轴基底（25）、所述操作臂的第一摆动臂部分（26）、所述操作臂的第二摆动臂部分（27）以及操作端（29），所述枢轴基底（25）配置于所述涂覆装置的转动轴（23），所述第一摆动臂部分（26）连接于所述枢轴基底，所述第二摆动臂部分（27）连接于所述第一摆动臂部分（26）的远离所述枢轴基底的端部，所述操作端（29）能枢转地连接于所述第二摆动臂部分（27）的自由端且设置有至少一个抽吸开口，所述抽吸开口能够形成负压。

4.根据权利要求2所述的涂覆装置，其特征在于，

所述操纵装置（22）被实施为摆动臂机械人，所述操纵装置（22）包括所述操作臂（24）的高度能调节的枢轴基底（25）、所述操作臂的第一摆动臂部分（26）、所述操作臂的第二摆动臂部分（27）以及操作端（29），所述枢轴基底（25）配置于所述涂覆装置的转动轴（23），所述第一摆动臂部分（26）连接于所述枢轴基底，所述第二摆动臂部分（27）连接于所述第一摆动臂部分（26）的远离所述枢轴基底的端部，所述操作端（29）能枢转地连接于所述第二摆动臂部分（27）的自由端且设置有至少一个抽吸开口，所述抽吸开口能够形成负压。

5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的涂覆装置，其特征在于，

所述干燥装置（15）具有多个干燥站（16、17、18、19、20）。

6.根据权利要求1至4中的任意一项所述的涂覆装置，其特征在于，

所述涂敷器（39）能够以使得其涂敷端（49）到达所述转盘（38）的上方的方式枢转，以使所述涂敷端配置于所述转盘的转轴（42）的上方。

7.根据权利要求5所述的涂覆装置，其特征在于，

所述涂敷器（39）能够以使得其涂敷端（49）到达所述转盘（38）的上方的方式枢转，以使所述涂敷端配置于所述转盘的转轴（42）的上方。

8.根据权利要求1至4中的任意一项所述的涂覆装置，其特征在于，

所述至少一个干燥站（16、17、18、19、20）具有加热装置，所述加热装置被实施为接触板（21），通过所述操纵装置（22）能够将所述晶圆载置在所述接触板（21）上。

9.根据权利要求5所述的涂覆装置，其特征在于，

所述至少一个干燥站（16、17、18、19、20）具有加热装置，所述加热装置被实施为接触板（21），通过所述操纵装置（22）能够将所述晶圆载置在所述接触板（21）上。

10.根据权利要求6所述的涂覆装置，其特征在于，

所述至少一个干燥站（16、17、18、19、20）具有加热装置，所述加热装置被实施为接触板（21），通过所述操纵装置（22）能够将所述晶圆载置在所述接触板（21）上。

11.根据权利要求7所述的涂覆装置，其特征在于，

所述至少一个干燥站（16、17、18、19、20）具有加热装置，所述加热装置被实施为接触板（21），通过所述操纵装置（22）能够将所述晶圆载置在所述接触板（21）上。