[实用新型]一种碳化硅外延炉的清理装置有效
| 申请号： | 201420161999.3 | 申请日： | 2014-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN203938749U | 公开（公告）日： | 2014-11-12 |
| 发明（设计）人： | 张新河;孙国胜;韩景瑞;刘丹;李锡光;萧黎鑫 | 申请（专利权）人： | 东莞市天域半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02;C30B29/36;F27D25/00 |
| 代理公司： | 广州市南锋专利事务所有限公司 44228 | 代理人： | 罗晓聪 |
| 地址： | 523000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 外延 清理 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种碳化硅外延炉的清理装置，其特征在于：该清理装置包括：
一采用碳化硅材料制作的清理触头（1）；
一手柄（2），于手柄（2）中设置有发光电路（4），该发光电路（4）中至少包括两个发光回路，每个发光回路中设置有不同颜色的发光体（41或42）；
所述的清理触头（1）安装在手柄（2）上，并且二者之间连接有弹性伸缩件（3），于弹性伸缩件（3）的压缩行程范围内至少设置有两个电极点（43、44），当清理触头（1）受外力产生压缩触发任意一个电极点（43或44）时，发光电路中的一个发光回路导通，触发对应回路中的发光体（41或42）发光。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅外延炉的清理装置，其特征在于：所述的清理触头（1）固定在一连接件（10）上，通过该连接件（10）活动安装在手柄（2）上。
3.根据权利要求1所述的一种碳化硅外延炉的清理装置，其特征在于：所述的弹性伸缩件（3）为弹簧。
4.根据权利要求1所述的一种碳化硅外延炉的清理装置，其特征在于：所述的发光体（41、42）为LED。
5.根据权利要求1所述的一种碳化硅外延炉的清理装置，其特征在于：所述的电极点（43、44）为触发开关。
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