[实用新型]一种半导体晶圆目检灯

说明书

技术领域

本实用新型属于专用照明装置领域，尤其涉及一种用于半导体晶圆目检的专用照明装置。

背景技术

目检是半导体晶圆测试中的一项重要工作，其通过肉眼观察待测晶圆是否存在缺陷。

目检主要包括下列检查内容：检测待测晶圆上是否有瑕疵（主要是指微尘粒子、刮痕、残留物等），对已印有电路图案的图案晶圆成品而言，则主要进行外引脚之平整性、共面度、脚距、印字是否清晰及胶体是否有损伤等方面的外观检验。

目前，在目检过程中多使用高强度汞灯作为光源来照射晶圆表面。

采用高强度汞灯作为照射光源，其缺点是寿命短（小于500小时），灯具的价格高，在目检工作中需要频繁更换灯具光源，且该种光源的启动时间比较长，需预热半小时左右才能达到目检所需的稳定光强度；其一方面增加了目检工序的电能消耗和生产成本，另一方面无形之中又减少了有效工作时间，降低了目检工作的整体工作效率。

如何能够使得目检用照明灯具有快速启动特性，延长灯具的使用寿命，减少其电能消耗，提高目检工作的整体工作效率，是实际生产过程中急待解决的问题。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种半导体晶圆目检灯，其采用LED光源取代传统的高强度汞灯作为照射光源，具有快速启动特性，响应速度快，使用寿命长，电能消耗低，节能环保，可提高目检工作的整体工作效率和质量，且其生产组装方便，散热效果好。

本实用新型的技术方案是：提供一种半导体晶圆目检灯，包括用于支撑灯壳的撑杆和设置在撑杆末端的灯壳，其特征是：所述的灯壳为一圆柱或圆台状结构；在灯壳的下端面，设置有数个LED发光器件；其中，至少一个LED发光器件设置在灯壳的纵向中心轴线位置上，构成中心点LED发光器件；其余的LED发光器件围绕所述的中心点LED发光器件设置，构成多个围绕式LED发光器件；在所述的每个LED发光器件的位置上，对应设置一个反光杯；在所需照明的半导体晶圆目检工作平面上，所述各个围绕式LED发光器件反光杯输出的光斑，与所述中心点LED发光器件反光杯输出的光斑重合；所述的撑杆、灯壳、中心点LED发光器件、多个围绕式LED发光器件和多个反光杯，构成一体式的聚光灯具。

具体的，其所述的各个LED发光器件位于所述对应的各个反光杯上开口端的中心位置。

进一步的，其所述的反光杯为一截锥状构件，其反光杯的上开口端与所述灯壳的下端连接；所述反光杯的下开口端朝向半导体晶圆目检工作平面设置。

其所述多个围绕式LED发光器件反光杯的纵向中心轴线，与所述灯壳的下底面成一夹角设置，分别构成一个向灯壳中心轴线倾斜的投光通道。

位于所述围绕式LED发光器件上的各个反光杯的纵向中心轴线，朝向所述灯壳的纵向中心轴线倾斜；所述各个围绕式LED发光器件上的各个反光杯的纵向中心轴线，与所述灯壳的纵向中心轴线成一夹角设置。

更进一步的，上述的夹角范围为0～20度。

其所述各个围绕式LED发光器件反光杯的纵向中心轴线，在所述半导体晶圆目检工作平面上，与所述灯壳的纵向中心轴线相交。

更进一步的，所述反光杯的上开口端与灯壳之间，对应设置有螺纹式连接结构或旋转卡口式连接结构。

更进一步的，在所述灯壳的上端面，设置散热模块或散热模块组。

与现有技术比较，本实用新型的优点是：

1.采用LED光源取代传统的高强度汞灯作为照射光源，具有快速启动特性，响应速度快，使用寿命长，电能消耗低，节能环保；

2.采用一体式灯壳结构，其灯壳既能固定反光杯，又能作为散热部件；

3.可提高目检工作的整体工作效率和质量，且其生产组装方便，散热效果好。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型下端面的结构示意图；

图3是灯壳内部结构示意图；

图4是反光杯的结构示意图；

图5是灯壳与LED发光器件之间的结构示意图；

图6是各个反光杯输出的光斑重合关系示意图。

图中1为撑杆，2为灯壳，3为中心点LED发光器件反光杯，4为围绕式LED发光器件反光杯，5为LED发光器件，6-1、6-2为导线走线孔，7为螺纹式连接结构，8为光斑。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步说明。