[实用新型]一种半导体晶圆目检灯

权利要求书

1.一种半导体晶圆目检灯，包括用于支撑灯壳的撑杆和设置在撑杆末端的灯壳，其特征是：

所述的灯壳为一圆柱或圆台状结构；

在灯壳的下端面，设置有数个LED发光器件；

其中，至少一个LED发光器件设置在灯壳的纵向中心轴线位置上，构成中心点LED发光器件；其余的LED发光器件围绕所述的中心点LED发光器件设置，构成多个围绕式LED发光器件；

在所述的每个LED发光器件的位置上，对应设置一个反光杯；

在所需照明的半导体晶圆目检工作平面上，所述各个围绕式LED发光器件反光杯输出的光斑，与所述中心点LED发光器件反光杯输出的光斑重合；

所述的撑杆、灯壳、中心点LED发光器件、多个围绕式LED发光器件和多个反光杯，构成一体式的聚光灯具。

2.按照权利要求1所述的半导体晶圆目检灯，其特征是所述的各个LED发光器件位于所述对应的各个反光杯上开口端的中心位置。

3.按照权利要求1所述的半导体晶圆目检灯，其特征是所述的反光杯为一截锥状构件，其反光杯的上开口端与所述灯壳的下端连接；所述反光杯的下开口端朝向半导体晶圆目检工作平面设置。

4.按照权利要求1所述的半导体晶圆目检灯，其特征是所述多个围绕式LED发光器件反光杯的纵向中心轴线，与所述灯壳的下底面成一夹角设置，分别构成一个向灯壳中心轴线倾斜的投光通道。

5.按照权利要求1所述的半导体晶圆目检灯，其特征是位于所述围绕式LED发光器件上的各个反光杯的纵向中心轴线，朝向所述灯壳的纵向中心轴线倾斜；所述各个围绕式LED发光器件上的各个反光杯的纵向中心轴线，与所述灯壳的纵向中心轴线成一夹角设置。

6.按照权利要求4或5所述的半导体晶圆目检灯，其特征是所述的夹角范围为0～20度。

7.按照权利要求1所述的半导体晶圆目检灯，其特征是所述各个围绕式LED发光器件反光杯的纵向中心轴线，在所述半导体晶圆目检工作平面上，与所述灯壳的纵向中心轴线相交。

8.按照权利要求1所述的半导体晶圆目检灯，其特征是所述反光杯的上开口端与灯壳之间，对应设置有螺纹式连接结构或旋转卡口式连接结构。

9.按照权利要求1所述的半导体晶圆目检灯，其特征是在所述灯壳的上端面，设置散热模块或散热模块组。