[实用新型]一种晶片固定器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种晶片固定器，其可安装于晶片盒上应用于晶片甩干制程。

背景技术

在半导体器件制造中，光刻、划裂及ICP等工艺过程中均需对晶片进行清洗和甩干。而在甩干过程中，位于晶片盒卡槽内的晶片产生晃动，则晶片表面易被卡槽刮伤，造成电极扩展条断线，影响晶片制程良率。

发明内容

针对上述问题，本实用新型提出了一种晶片固定器，其在甩干过程中可有效固定晶片，改善晶片表面刮伤状况，改善晶片制程良率。

本实用新型解决问题的技术方案为：在晶片盒上增设晶片固定器，所述晶片固定器包括横杠、前后两端部以及固定板，所述前后两端部通过横杠连接，所述固定板安置于横杠内表面两侧；当所述晶片固定器安装于晶片盒上时，所述固定板与晶片盒内的晶片上边缘接触，在晶片甩干过程中用以固定晶片位置。

优选地，所述固定板为一系列肋条，其数目大于或者等于晶片盒卡槽数。

优选地，所述固定板为一整体，其上有圆圈状、条状或其它形状通孔。

优选地，所述晶片固定器材质为塑料。

在一些实施例中，所述横杠中部两侧设有一安装装置，该安装装置包括一安装板，且该固定板与前后两端部的侧边均具有钩状，与晶片盒两侧壁凸出边缘吻合，用于固定晶片固定器。

在一些实施例中，所述两端部与晶片盒前后部接触处具有钩状，与晶片盒前后端边缘吻合，用于固定晶片固定器。

本实用新型至少具有以下有益效果：所述晶片固定器，其在甩干过程中可有效固定晶片，改善晶片表面刮伤状况，减少此刮伤造成的造成电极扩展条断线状况，改善晶片制程良率。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本实用新型的限制。此外，附图数据是描述概要，不是按比例绘制。

图1为本实用新型之实施例1之晶片固定器安装于晶片盒时外表面俯视图。

图2为本实用新型之实施例1之晶片固定器内表面俯视图。

图3为本实用新型之实施例1之晶片固定器安装于晶片盒时端部截面图。

图4为本实用新型之实施例2之晶片固定器安装于晶片盒时外表面俯视图。

图5为本实用新型之实施例2之晶片固定器内表面俯视图。

图6为本实用新型之实施例2之晶片固定器安装于晶片盒时端部外表面截面图。

图7为本实用新型之实施例2之晶片固定器安装于晶片盒时端部内表面截面图。

图8为本实用新型之实施例3之晶片固定器内表面俯视图。

图9为本实用新型之实施例4之晶片固定器内表面俯视图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。

实施例1

请参看附图1~3，一种晶片固定器包括横杠200、前后两端部100以及固定板300，所述固定板300安置于横杠200内表面两侧，为一系列肋条，其数目大于或等于晶片盒卡槽510数目，如果肋条数目等于晶片盒卡槽数目，则每对肋条对应一个晶片盒卡槽；如果肋条数目大于晶片盒卡槽数目，则一个晶片盒卡槽可对应多对肋条，用于增强固定板的固定作用；将晶片固定器安装于晶片盒500上，使固定板300与晶片盒内的晶片600上边缘接触，在晶片甩干过程中用以固定晶片600。

具体地，参看附图2和3，前后两端部100连接于横杠200的两端，且两端部接触晶片盒侧设置有钩状110，横杠中间两侧连接有安装板400，该固定板接触晶片盒侧面设置有钩状410，将晶片固定器安装于晶片盒500上，钩状110、410与晶片盒500两侧壁凸出边缘510吻合，用于固定晶片固定器，使其在甩干过程中不会因旋转而掉落；固定板300与晶片600上边缘接触，将晶片600固定于卡槽510内，使其在甩干过程中不产生剧烈晃动，从而减小晶片600与卡槽510边缘发生摩擦的几率，改善晶片表面的可能被刮伤状况，进而改善晶片制程良率。

实施例2

请参看附图4~7，一种晶片固定器包括横杠200、前后两端部100以及固定板300，所述固定板300设置于横杠200内表面两侧，固定板300为一系列肋条，其数目大于或者等于晶片盒卡槽510的数目；将晶片固定器安装于晶片盒500上，使固定板300与晶片盒内的晶片600上边缘接触，在晶片甩干过程中用以固定晶片600。