[实用新型]平面研磨机的下盘驱动结构

说明书

技术领域

本实用新型是一种平面研磨机的下盘驱动结构，属于平面研磨机的下盘驱动结构的改造技术。 

背景技术

传统的研磨机从电机到研磨盘往往要经过一系列的带、齿轮、联轴器等中间机械传动环节，电机收到运动指令传递到研磨盘有一定的延迟，同时这些中间传动环节由于安装、磨损、塑性变形等原因产生的几何精度误差会对工件的加工精度造成很大的影响。此外，中间环节在运转过程中会产生巨大的振动和噪声，也会影响工件的加工精度和表面完整性。在目前的超精密研磨过程中，这些影响更为严重。因此，解决传统研磨机中间传动环节过长的问题，是目前急需解决的一个问题。 

实用新型内容

本实用新型的目的在于考虑上述问题而提供一种传动链很短，低转速、大扭矩、过载能力强、响应快，能实现无极调速的平面研磨机的下盘驱动结构。本实用新型振动小，噪声小，加工过程平稳，加工精度高，设计合理，方便实用。 

本实用新型的技术方案是：本实用新型的平面研磨机的下盘驱动结构，包括有研磨盘、机架、力矩电机,其中力矩电机为大扭矩直驱式力矩电机，主轴与转台为一体结构，转台是力矩电机的转子,支撑盘固定在转台上, 转台由转台轴承的内圈支撑，转台轴承的外圈固定在力矩电机的外壁上，转子在水平方向由双列圆柱滚子轴承固定，转台转动带动支撑盘转动，冷却盘固定在支撑盘上，研磨盘固定在冷却盘上, 研磨盘设有的冷却回路经过转台，转台的下端装有用来实时监测与控制主轴转速的旋转编码器，定子的下端为电机端盖，力矩电机固定在机架上，机架上开有研磨废液流出管道。 

本实用新型由于采用包括机架、研磨盘、力矩电机的结构，本实用新型所用的力矩电机为大扭矩直驱式力矩电机，该力矩电机固定在机架上。所述研磨盘固定在冷却盘上，冷却盘与支撑盘相连固定在力矩电机的转台上。本实用新型由于使用力矩电机，省去了皮带、齿轮等减速机构，提高了运行精度。同时使用直驱式结构，主轴为力矩电机的转子，主轴与转台为一体式结构，解决了联轴器等中间传动环节所带来的问题。同时研磨盘的冷却回路经过主轴，在冷却研磨盘的同时解决了力矩电机主轴的发热问题。本实用新型传动链很短，低转速、大扭矩、过载能力强、响应快，能实现无极调速；且振动小，噪声小，加工过程平稳；另外，加工精度高。本实用新型是一种设计巧妙，性能优良，方便实用的平面研磨机的下盘驱动结构。 

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图； 

图2是本实用新型的主轴结构示意图；

图3是本实用新型的冷却盘结构示意图。

具体实施方式

实施例： 

本实用新型的结构示意图如图1、2、3所示，本实用新型的平面研磨机的下盘驱动结构，包括有研磨盘1、机架5、力矩电机7,其中力矩电机7为大扭矩直驱式力矩电机，主轴与转台4为一体结构，转台4是力矩电机7的转子,支撑盘3固定在转台4上, 转台4由转台轴承6的内圈支撑，转台轴承6的外圈固定在力矩电机7的外壁上，向下的载荷通过转台轴承6作用于力矩电机7的外壁，转子4在水平方向由双列圆柱滚子轴承9固定，转台4转动带动支撑盘3转动，冷却盘2固定在支撑盘3上，研磨盘1固定在冷却盘2上, 研磨盘1设有的冷却回路经过转台4，转台4的下端装有用来实时监测与控制主轴转速的旋转编码器12，定子11的下端为电机端盖13，力矩电机7固定在机架5上，机架5上开有研磨废液流出管道8，研磨产生的废液落入机架5所设的废液槽31中，并通过废液排出管道8排入废液收集箱中。

本实施例中，上述支撑盘3通过螺栓固定在转台4上。上述转台轴承6的内圈上设有安装孔，转台4通过螺栓穿过转台轴承6内圈上设有的安装孔与转台轴承6的内圈连接。 

此外，上述双列圆柱滚子轴承9的两端分别设有套筒和定位圆螺母10。上述支撑盘3通过螺栓固定在转台4上。 

为确保密封性，上述冷却盘2与支撑盘3之间设有密封垫，防止冷却盘沟槽30内的冷却水渗出。 

为便于安装，上述冷研磨盘1通过锥销固定在冷却盘2上。上述旋转编码器12通过圆螺母14固定在转台4的下端。