[实用新型]平面研磨机的下盘驱动结构

权利要求书

1.一种平面研磨机的下盘驱动结构，其特征在于包括有研磨盘（1）、机架（5）、力矩电机（7）,其中力矩电机（7）为大扭矩直驱式力矩电机，主轴与转台（4）为一体结构，转台（4）是力矩电机（7）的转子,支撑盘（3）固定在转台（4）上, 转台（4）由转台轴承（6）的内圈支撑，转台轴承（6）的外圈固定在力矩电机（7）的外壁上，转子（4）在水平方向由双列圆柱滚子轴承（9）固定，转台（4）转动带动支撑盘（3）转动，冷却盘（2）固定在支撑盘（3）上，研磨盘（1）固定在冷却盘（2）上, 研磨盘（1）设有的冷却回路经过转台（4），转台（4）的下端装有用来实时监测与控制主轴转速的旋转编码器（12），定子（11）的下端为电机端盖（13），力矩电机（7）固定在机架（5）上，机架（5）上开有研磨废液流出管道（8）。

2.根据权利要求1所述的平面研磨机的下盘驱动结构，其特征在于上述支撑盘（3）通过螺栓固定在转台（4）上。

3.根据权利要求1所述的平面研磨机的下盘驱动结构，其特征在于上述转台轴承（6）的内圈上设有安装孔，转台（4）通过螺栓穿过转台轴承（6）内圈上设有的安装孔与转台轴承（6）的内圈连接。

4.根据权利要求1所述的平面研磨机的下盘驱动结构，其特征在于上述双列圆柱滚子轴承（9）两端分别设有套筒和定位圆螺母（10）。

5.根据权利要求1所述的平面研磨机的下盘驱动结构，其特征在于上述支撑盘（3）通过螺栓固定在转台（4）上。

6.根据权利要求1所述的平面研磨机的下盘驱动结构，其特征在于上述冷却盘（2）与支撑盘（3）之间设有密封垫，防止冷却盘沟槽（30）内的冷却水渗出。

7.根据权利要求1所述的平面研磨机的下盘驱动结构，其特征在于上述研磨盘（1）通过锥销固定在冷却盘（2）上。

8.根据权利要求1所述的平面研磨机的下盘驱动结构，其特征在于上述旋转编码器（12）通过圆螺母（14）固定在转台（4）的下端。

9.根据权利要求1至8任一项所述的平面研磨机的下盘驱动结构，其特征在于上述研磨盘（1）设有的冷却回路包括转台（4）上设有主轴入水口（23）、主轴入水管道（16）、主轴出水口（19）、主轴出水管道（15），冷却盘（2）上设有入水孔（26）、出水孔（27）、冷却盘入水管道（25）、冷却盘出水孔（29）、冷却盘出水管道（28）及冷却盘沟槽（30），冷却水通过主轴入水口（23）进入主轴入水管道（16），然后通过冷却盘（2）上设有的入水孔（26）进入冷却盘入水管道（25），通过通孔（24）进入冷却盘沟槽（30），主轴入水管道（16）与冷却盘（2）连接，冷却水在冷却盘沟槽（30）内流动，对上面的研磨盘（1）进行冷却，通过冷却盘出水孔（29）进入冷却盘出水管道（28），通过出水孔（27）进入主轴出水管道（15），主轴出水管道（15）与冷却盘（2）连接，最终通过主轴出水口（19）流出。

10.根据权利要求9所述的平面研磨机的下盘驱动结构，其特征在于上主轴入水管道（16）与冷却盘（2）之间通过入水孔（26）内所设的螺纹联接，主轴出水管道（15）与冷却盘（2）通过螺栓连接。