[实用新型]一种用于清洁电子元件的清洁设备

权利要求书

1.一种用于清洁电子元件的清洁设备，所述清洁设备包括： 

多个处理区；和 

一个或多个传送装置，所述传送装置用于将电子元件相继的传送到每一个处理区，使得所述电子元件顺序通过串连的处理区进行处理； 

其中，在一个处理区中，在大气压力下，施加等离子到电子元件上。 

2.如权利要求1所述的清洁设备，其特征在于，在一个处理区中，将气体吹到电子元件上以去除电子元件上的污染物。 

3.如权利要求1所述的清洁设备，其特征在于，在一个处理区中，对电子元件进行真空处理以去除电子元件上的污染物。 

4.如权利要求1所述的清洁设备，其特征在于，另一个处理区是吹风区，在所述吹风区，向电子元件吹送气体，且另一个处理区是真空区，在所述真空区，对电子元件进行真空处理，在真空区之前，是在大气压力对电子元件施加等离子的处理区，而所述吹风区则在真空区之前。 

5.如权利要求1所述的清洁设备，其特征在于，在大气压力下对电子元件施加等离子的处理区，也对所述电子元件应用去离子水。 

6.如权利要求1所述的清洁设备，其特征在于，所述处理区被整合为一个单一机器。 

7.如权利要求1所述的清洁设备，其特征在于，所述处理区和一个或多个传送装置被整合成作为一个单一机器。 

8.如权利要求1所述的清洁设备，其特征在于，所述处理区和一个或多个传送装置被封闭在一个受控的清洁环境中。 

9.如权利要求1所述的清洁设备，其特征在于，包括多个传送装置，其中每一个传送装置都被是单独操控的。