[实用新型]用于超高真空剥离膜系统室内样品全自动交接的传动机构

说明书

技术领域

本实用新型属于真空技术领域，特别涉及一种用于剥离膜系统真空室内样品全自动交接的传动机构。 

背景技术

剥离膜系统是用于重离子癌症临床治疗领域研究的试验设备，在超高真空条件下，用样品件剥离重离子束上的有害离子，使离子束经过筛选后得到满足治疗要求的离子束流，由于样品交接是在超高真空环境下进行的，需要用传动机构来实现，且精确、可靠的样品交接传动机构是试验能否成功的必要保证。现有技术中，用于剥离膜系统真空室内样品交接的传动机构只有转动机构和升降机构，均采用手动操作，试验时至少需要2个人联合完成，一人操作转动机构和升降机构，另一人通过设备上预留的观察窗观察升降高度和转动角度，完全靠视觉判断升降高度和转动角度是否正确，因为没有定位装置，在样品件更换过程中无法保证交接时的正确位置，容易出现误操作，引起设备的损坏和降低试验的成功率。 

发明内容

本发明所要解决的技术问题是，克服现有技术的缺陷，提供一种可以实现全自动升降、转动并精确定位的样品传动机构。 

本发明采用的技术方案包括机架，在机架上安装有转动机构和与转动机构平行的升降机构，在所述转动机构的主轴上安装有花键齿轮，在转动机构的小真空室左法兰上用螺钉连接与转动机构垂直的定位机构，所述定位机构包括在安装架上安装的第三步进电机、第三减速机、第三联轴器、第二滚珠丝杆、第二法兰螺母和定位销，在定位机构的安装架上固定安装有前后2个第一导轨，在前后2个第一导轨上安装可在第一导轨上滑动的第一滑块，在第一滑块上安装有转接板，转接板前后两端与第一滑块用螺钉固定连接，转接板中心加工有通孔，在该通孔中安装定位销，从而将第二滚珠丝杠承受的载荷转移到第一导轨上，所述定位销前端加工定位用键槽，与所述花键齿轮配合使用，在所述机架上安装上磁感应开关和下磁感应开关，在所述安装架上安装左磁感应开关和右磁感应开关。 

在所述机架上固定安装有第二导轨，在第二导轨上安装可在第二导轨上滑动的第二滑块，在第二滑块上安装有弯板，弯板与连接板用螺钉固定连接，从而将滚珠丝杠承受的弯矩转移到第二导轨上。 

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是： 

（1）经过改进后的结构，用三台步进电机驱动的传动机构分别组成转动机构、升降机构和定位机构，替代原有的手动操作实现的转动功能和升降功能，并增加了定位锁紧功能，在提高了转动、升降的定位精度的同时还减小了试验中人为误操作引起试验设备损坏的几率，减低了对操作人员的技术要求，并减少了试验人员的数量。

（2）在定位销前端加工定位用键槽，与转动机构的花键齿轮配合使用，提高了样品托盘转动后的重复定位精度，并保证在试验过程中不会因外力引起样品托盘位置变动。 

（3）通过导轨和在导轨上安装滑块，从而将滚珠丝杠承受的弯矩转移到导轨上，提高了滚珠丝杠的运行平稳性和运动精度，还因此可延长机构的使用寿命。 

附图说明

图1是本实用新型的主视图， 

图2是图1的左视图，

图3是图1 的A-A剖视图。

图中： 

1.转动机构，

1-1. 第一步进电机，1-2. 第一减速机，

1-3. 第一磁力转轴，1-4. 第一联轴器，

1-5. 主轴，1-6. 下轴承座，

1-7. 上轴承座，1-8. 花键齿轮，

1-9. 小真空室，1-10.转动支架

2. 升降机构，

2-1. 第二步进电机，2-2. 第二减速机，

2-3. 第二联轴器，2-4. 下端轴承，

2-5. 第一滚珠丝杆，2-6. 第一法兰螺母，

2-7. 上端轴承，

3. 定位机构，

3-1. 第三步进电机，3-2. 第三减速机，

3-3. 第三联轴器，3-4. 第二滚珠丝杆，

3-5. 第二法兰螺母，3-6. 定位销，

3-7. 安装架，

4. 机架，

5-1.上磁感应开关，5-2.下磁感应开关，

5 -3.左磁感应开关，5 -4.右磁感应开关，

6. 样品托盘

7. 连接板，8. 大真空室，

9. 第二导轨，10. 第二滑块，

11. 弯板，12. 第一导轨，

13. 第一滑块，14. 转接板，

15. 波纹管。

具体实施方式