[实用新型]用于超高真空剥离膜系统室内样品全自动交接的传动机构

权利要求书

1.用于超高真空剥离膜系统室内样品全自动交接的传动机构，包括机架（4），在机架（4）上安装有转动机构（1）和与转动机构（1）平行的升降机构（2），其特征在于，在所述转动机构（1）的主轴（1-5）上安装有花键齿轮（1-8），在转动机构（1）的小真空室（1-9）左法兰上用螺钉连接与转动机构（1）垂直的定位机构（3）， 所述定位机构（3）包括在安装架（3-7）上安装的第三步进电机（3-1）、第三减速机（3-2）、第三联轴器（3-3）、第二滚珠丝杆（3-4）、第二法兰螺母（3-5）和定位销（3-6），在定位机构（3）的安装架（3-7）上固定安装有前后2个第一导轨（12），在前后2个第一导轨（12）上安装可在第一导轨（12）上滑动的第一滑块（13），在第一滑块（13）上安装有转接板（14），转接板（14）前后两端与第一滑块（13）用螺钉固定连接，转接板（14）中心加工有通孔，在该通孔中安装定位销（3-6），从而将第二滚珠丝杠（3-4）承受的载荷转移到第一导轨（12）上，所述定位销（3-6）前端加工定位用键槽，与所述花键齿轮（1-8）配合使用，在所述机架（4）上安装上磁感应开关（5-1）和下磁感应开关（5-2），在所述安装架（3-7）上安装左磁感应开关（5-3）和右磁感应开关（5 -4）。

2.根据权利要求1所述用于超高真空剥离膜系统室内样品全自动交接的传动机构，其特征在于，在所述机架（4）上固定安装有第二导轨（9），在第二导轨（9）上安装可在第二导轨（9）上滑动的第二滑块（10），在第二滑块（10）上安装有弯板（11），弯板（11）与连接板（7）用螺钉固定连接，从而将滚珠丝杠（2-5）承受的弯矩转移到第二导轨（9）上。