[实用新型]探针卡及测试机台有效
| 申请号： | 201420109554.0 | 申请日： | 2014-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN203849368U | 公开（公告）日： | 2014-09-24 |
| 发明（设计）人： | 张传益;邹俊杰 | 申请（专利权）人： | 标准科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R31/02;G01R1/073 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 探针 测试 机台 | ||
1.一种探针卡，其特征在于，包含：
一弹性薄膜板，具有一上表面及相对于该上表面的一下表面，在该弹性薄膜板上形成多个测试区，并于每该测试区上具有多个由该弹性薄膜板的上表面贯穿至该弹性薄膜板的下表面的贯穿孔；及
多个金属材质，填入每该测试区上所述贯穿孔中，并于该弹性薄膜板的上表面形成多个焊垫，于该弹性薄膜板的下表面形成多个探针，且所述探针与所述金属材质为一体成型；
其中，每该探针具有一斜接触面。
2.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，其中该斜接触面的斜角为15—30度。
3.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，其中该斜接触面上进一步具有一弧状平面。
4.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，其中该弹性薄膜板为一高分子材料。
5.根据权利要求4所述的探针卡，其特征在于，其中该高分子材料为聚酰亚胺。
6.一种测试机台，由一测试座及一探针卡所组成，该测试座下方具有多个接点，且该探针卡配置于该测试座下方，其中该探针卡的特征在于：
该探针卡，包含：
一弹性薄膜板，具有一上表面及相对于该上表面的一下表面，在该弹性薄膜板上形成多个测试区，并于每该测试区上具有多个由该弹性薄膜板的上表面贯穿至该弹性薄膜板的下表面的贯穿孔；及
多个金属材质，填入每该测试区上所述贯穿孔中，并于该弹性薄膜板的上表面形成多个焊垫，并使所述焊垫与该测试座的所述接点电性连接，于该弹性薄膜板的下表面形成多个探针，且所述探针与所述金属材质为一体成型；
其中，每该探针具有一斜接触面。
7.根据权利要求6所述的测试机台，其特征在于，其中该斜接触面的斜角为1530度。
8.根据权利要求6所述的测试机台，其特征在于，其中该斜接触面上进一步具有一弧状平面。
9.根据权利要求6所述的测试机台，其特征在于，其中该弹性薄膜板为一高分子材料。
10.根据权利要求9所述的测试机台，其特征在于，其中该高分子材料为聚酰亚胺。
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