[实用新型]晶棒转运装置

权利要求书

1.一种晶棒转运装置，其特征在于，包括：

安装架（10）；

底部滚动体（20），所述底部滚动体（20）可转动地设置在所述安装架（10）上，所述底部滚动体（20）通过摩擦力驱动放置在所述底部滚动体（20）上的晶棒（30）运动；

侧向导向部（40），所述侧向导向部（40）包括位于所述底部滚动体（20）的轴向方向上的两侧的侧向导向单元，以避免所述晶棒（30）偏移。

2.根据权利要求1所述的晶棒转运装置，其特征在于，所述底部滚动体（20）包括多个并列间隔设置的第一滚轮（21）。

3.根据权利要求2所述的晶棒转运装置，其特征在于，所述第一滚轮（21）包括：

第一滚轴（211），所述第一滚轴（211）设置在所述安装架（10）上；

轮体（212），所述轮体（212）套设在所述第一滚轴（211）上，并可绕所述第一滚轴（211）的轴线转动。

4.根据权利要求3所述的晶棒转运装置，其特征在于，所述轮体（212）的材质为柔性材料。

5.根据权利要求3所述的晶棒转运装置，其特征在于，所述轮体（212）的材质为聚四氟乙烯。

6.根据权利要求1所述的晶棒转运装置，其特征在于，所述侧向导向部（40）包括两个所述侧向导向单元，其中一个所述侧向导向单元位于所述底部滚动体（20）的轴向上的一侧，另一个所述侧向导向单元位于所述底部滚动体（20）的轴向上的另一侧。

7.根据权利要求6所述的晶棒转运装置，其特征在于，所述侧向导向单元包括侧向导向轮（41），所述侧向导向轮（41）可转动地设置在所述安装架（10）上，所述侧向导向轮（41）的轴线垂直于所述底部滚动体（20）的轴线。

8.根据权利要求7所述的晶棒转运装置，其特征在于，所述侧向导向轮（41）沿所述底部滚动体（20）的轴向可移动地设置，以调节两个所述侧向导向轮（41）之间的距离。

9.根据权利要求8所述的晶棒转运装置，其特征在于，所述侧向导向轮（41）包括第二滚轴（411），所述第二滚轴（411）与所述安装架（10）之间设置有调节弹簧，所述调节弹簧的轴线平行于所述底部滚动体（20）的轴线。

10.根据权利要求7所述的晶棒转运装置，其特征在于，两个所述侧向导向轮（41）之间的最小距离为220mm。