[实用新型]一种密封性能优良的类金刚石膜涂层室

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种类金刚石膜涂层设备，特别是涉及一种密封性能优良的类金刚石膜涂层室。

背景技术

在工件表面制作类金刚石膜的过程中，首先需要将类金刚石膜涂层设备的涂层室抽取真空，然后输入一定比例和压力的氩气、甲烷、氢气等反应气体，这就要求涂层室必须具备良好的密封性能，否则会影响类金刚石膜涂层的镀膜质量。类金刚石膜涂层室的密封性关键在于工件进料用的涂层室炉门的密封性。现有的涂层室炉门经常为活动铰链式单开门，这种炉门结构靠密封条来密封，存在不耐高温、容易老化、密封效果差的缺点，而且不便于自动操作。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术的不足，提供一种结构紧凑、操作灵活可靠、密封效果良好的类金刚石膜涂层室。

本实用新型是通过以下技术方案予以实现的：一种密封性能优良的类金刚石膜涂层室，其特征在于：在涂层室的进料口设有一密封装置，所述密封装置包括密封基体、升降式炉门、导向轨道、操作杆，所述密封基体焊接在涂层室的进料口，所述密封基体上设有导向轨道，所述升降式炉门上端与操作杆相连，所述升降式炉门两侧设有导向耳，所述导向耳与导向轨道形成滑动配合，所述升降式炉门为楔形，与所述密封基体接触处形成楔式双面密封结构，双面密封的楔角范围为3-8°。

本实用新型的升降式炉门可沿导向轨道上下滑动，实现炉门的启闭运动，关闭时由于楔角的存在，升降式炉门与密封基体配合越关越紧，实现良好密封。开启时，升降式炉门与密封基体的密封面快速分离，由于导向轨道对升降式炉门的引导，使升降式炉门可稳定的停留于任意开度。本实用新型结构紧凑、运行灵活、密封可靠、使用寿命长，而且特别适合于高温场合使用。

附图说明

 图1 是本实用新型的主视图。

图2 是本实用新型的左视图。

附图中：1—密封基体，2—升降式炉门，3—操作杆，4—导向轨道，5—导向耳，6—填料，7—填料压盖，8—涂层室。

具体实施方式

如图1、图2所示，一种密封性能优良的类金刚石膜涂层室，其特征在于：在涂层室的进料口设有一密封装置，所述密封装置包括密封基体1、导向轨道4、升降式炉门2、操作杆3。

密封基体1焊接在涂层室8的进料口，所述密封基体1上设有导向轨道4。升降式炉门2上端与操作杆3相连，操作杆3与密封基体1上部配合处设有填料6和填料压盖7。所述操作杆3采用丝杆结构，并通过丝杆螺母与步进电机相连，可自动控制升降式炉门2的开闭。

升降式炉门2的两侧设有导向耳5，所述导向耳5与导向轨道4形成滑动配合。升降式炉门2为楔形，与密封基体1接触处形成楔式双面密封结构，双面密封的楔角范围为3-8°。导向轨道4采用不锈钢、合金钢等防腐耐磨材料，在导向耳5的内表面上采用堆焊、镶嵌或螺纹连接等形式衬入耐磨材料，使导向轨道4与导向耳5形成灵活、可靠的滑动导向机构。

关闭时由于楔角a的存在，升降式炉门2与密封基体1配合越关越紧，实现良好密封，楔角a的范围为3-8°。开启时，升降式炉门2与密封基体1的密封面快速分离，由于导向轨道4通过升降式炉门2上的圆孔导向耳5对其进行引导，使升降式炉门2可稳定的停留于任意开度，实现良好的控制。