[实用新型]多层喷气式金刚石膜涂层设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种金刚石膜制作设备，特别涉及多层喷气式金刚石膜涂层设备。 

背景技术

人造金刚石薄膜的制作方法，常用的主要有二种。一种是化学沉积法，这种方法是将天然气、氢与甲烷的混合物充入一个涂层室内，在加热和电场的作用下，混合气体中的甲烷与氢分子就分解而成带电的等离子体，变成一种雾状气体。结果碳原子就逐渐覆盖在预先放在涂层室内的工件表面上，形成一层类似金刚石那样的晶体结构。另一种制造金刚石薄膜的方法，叫做离子沉积法，是在沉积金刚石薄膜的同时，用离子源轰击金刚石薄膜，使薄膜连续沉积，形成一薄层与材料表面结合良好的金刚石薄膜。

目前，采用化学沉积法制作金刚石薄膜的涂层设备，在气体的充入过程中，存在以下缺点：（1）气体从一个进气口充入，对于多层摆放的工件或较高的工件来说，其形成的金刚石薄膜涂层上下不一致，质量不均匀；（2）进入的气体没有控温装置，不利于离子的生成和沉积。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术的不足，提供一种多层喷气式金刚石膜涂层设备。

本实用新型是通过以下技术方案予以实现的：多层喷气式金刚石膜涂层设备，包括涂层室、工件架、抽真空装置，其特征在于：所述涂层室内设置有多层喷气装置，所述多层喷气装置包括进气管、气体储存室、温度控制器、电磁阀、加压泵、喷气管道、喷气头以及喷气细管，所述气体储存室的下部设有温度控制器，所述温度控制器的输入端与气体储存室相连，输出端通过安装在管路上的加压泵与喷气管道连接，喷气管道上设有多个带电磁阀和喷气头的喷气支路，所述喷气头连通有多个喷气细管。

进一步的，所述的喷气支路均匀分布于涂层室的内壁，每条喷气支路的喷气头连通有多根喷气细管。

本实用新型具有以下有益效果：（1）可实现涂层室内各个位置的均匀喷气，保证工件的各个面的离子分布均匀，涂层质量一致；（2）本实用新型设有温度控制器，可根据金刚石膜的涂层工艺需要调节温度，有利于保证金刚石膜的质量；（3）本实用新型设有电磁阀，便于进气量的调节和控制，使混合气体中各气体的比例符合工艺要求，可实现自动化操控。

附图说明

图l是本实用新型的多层喷气装置的结构示意图。

附图中，1—进气管，2—气体储存室，3—温度控制器，4—加压泵，5—喷气管道，6—电磁阀，7—喷气头， 8—喷气细管。 

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

如图1所示，多层喷气式金刚石膜涂层设备，包括涂层室、工件架、抽真空装置，其特征在于：所述涂层室内设置有多层喷气装置，所述多层喷气装置包括进气管1、气体储存室2、温度控制器3、电磁阀6、加压泵4、喷气管道5、喷气头7以及喷气细管8，所述气体储存室2的下部设有温度控制器3，所述温度控制器3的输入端与气体储存室2相连，输出端通过安装在管路上的加压泵4与喷气管道5连接，喷气管道5上设有多个带电磁阀6和喷气头7的喷气支路，所述喷气头7连通有多个喷气细管8。

本实用新型的多层喷气装置设有温度控制器，可根据金刚石膜的涂层工艺需要调节温度，有利于保证金刚石膜的质量。温度控制器为公知技术，这里不再对其结构作详细介绍。

本实用新型的多层喷气装置设有多条喷气支路，分别均匀分布于涂层室的内壁，多条喷气支路并接在一起，每条喷气支路的喷气头7连通有多个喷气细管8。设置多条喷气支路的目的是为了保证涂层室内各个位置的喷气均匀，保证工件的各个面的离子分布、涂层质量一致。