[实用新型]一种在线式化学气相沉积炉的对地绝缘判定系统

说明书

技术领域

    本实用新型涉及光伏及新材料技术领域，具体涉及一种在线式化学气相沉积炉的对地绝缘判定系统。

背景技术

在现有C/C行业的化学气相沉积炉中，由于生产工艺过程中需要向内罐充丙烯及甲烷等可燃性气体，此气体在高温下分解形成部分碳分子，不可避免的从罐内反到罐外加热室，很容易造成电阻带碳化及保温炉衬渗碳，长时间积累会导致电阻带及炉衬对地绝缘电阻大大降低，甚至电阻带熔断。

目前常见的化学气相沉积炉加热室反碳程度判定方法，在加热室与马弗罐内分别设置压力传感器，根据内外压差和真空度，综合工艺特点设定压差仪表的报警数值，提示并判断反碳程度是否超标。若超标，通过人为手段调节充气量或更换真空泵，甚至停炉检修清理真空管道。这种方法往往不能真实反映加热室内反碳情况，尤其在检修清理后对电阻带及炉衬的积炭程度无法估计，经常因处理不及时、不彻底，造成电阻带及炉衬的损坏，造成巨大的经济损失。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种能准确反映化学气相沉积炉加热室反碳程度的在线式化学气相沉积炉的对地绝缘判定系统。

本实用新型所采用的技术方案是：

一种在线式化学气相沉积炉的对地绝缘判定系统，其特征在于：

炉内每一个加热区的电阻带及炉衬分别串联一个多路转换开关后并联，再与电量变送器、变流电阻、单相降压变压器电源和炉壳串联成闭环测试电路系统；

电量变送器接入智能数字仪表和报警提示系统。

炉内各加热区的电阻带及炉衬设置并联的测试断开位，测试断开位串联有多路转换开关。

本实用新型具有以下优点：

本实用新型是由变流电阻、单相变压器、电量变送器、多路转换开关、数值显示报警仪表，炉膛加热体及炉衬、炉壳组成一个闭环测试电路系统，通过该系统测试出某区变流电阻电流信号，可在线通过程序控制使调功器间隔固定时间段呈高阻状态，对应计算出该时段对地绝缘电阻数值，间接反映炉内加热室反碳程度。该系统可通过量化指标准确预判电阻带及炉衬的反碳累积程度，对炉衬及电阻带进行吹扫及清理积碳，防止电阻带烧毁及炉衬渗碳过深，有效延长设备的使用寿命，提高设备使用效率，节省生产成本。 

附图说明

图1为系统结构图。

具体实施方式

下面结合具体实施方式对本实用新型进行详细的说明。

一种在线式化学气相沉积炉的对地绝缘判定系统，其特征在于：

炉内每一个加热区的电阻带及炉衬分别串联一个多路转换开关后并联，再与电量变送器、变流电阻、单相降压变压器电源和炉壳串联成闭环测试电路系统；电量变送器接入智能数字仪表和报警提示系统。炉内各加热区的电阻带及炉衬设置并联的测试断开位，测试断开位串联有多路转换开关。

测试电路系统中串接的变流电阻根据炉内加热体供电电压，产生适合采集的电流信号，经电量变送器输出标准信号到智能数字仪表，进行判断并通过报警提示系统产生报警提示信号。变流电阻阻值大小选取，以使测试回路产生电流信号大小方便检测为宜。

测试电路系统中的单相降压变压器电源为系统电源，其变比确定根据回路测试电压大小确定，沉积炉应用电压一般不超过100V。

测试电路系统中的多路转换开关分别和所需测试的炉内每一个加热区的电阻带及炉衬连接，通过切换操作，以方便进行单个加热区的绝缘电阻测试，图1以3个加热区为例进行说明。当不进行绝缘测试时，为保证加热正常运行，多路转换开关必须处于测试断开位置。

化学气相沉积炉各区电阻带及炉衬随着反碳积累，加热体绝缘情况逐渐变差，电阻值会逐渐变小。当测试电流数值接近于0，表明绝缘情况良好，测试电流数值较大，说明绝缘情况较差。该系统可以在每次停炉后进行每区绝缘电阻的检测，记录比较测试数值记录，可根据每次测试电流数值变化情况，判断加热室反碳程度。

一种化学气相沉积炉加热体对地绝缘智能预判装置的实施实例：

某化学气相沉积炉共有4个加热区，每区加热电阻带按照星形接法连接，加热控制电压0-90V。据此选择单相降压变压器电源产生90V电压，选配阻值为300 欧姆的管式电阻，可产生最大300毫安的电流。选配一个5位多路转换开关，分别连接每区加热体的某一相，预留一个位置作为测试断开位。选配电量变送器，将0-300mA变送为4-20mA的标准电流信号，并输入到智能数字仪表，进行报警提示。绝缘情况良好，测试电流数值接近于0，绝缘情况较差，测试电流数值较大。

本实用新型的内容不限于实施例所列举，本领域普通技术人员通过阅读本实用新型说明书而对本实用新型技术方案采取的任何等效的变换，均为本实用新型的权利要求所涵盖。