[实用新型]一种在线式化学气相沉积炉的对地绝缘判定系统有效
| 申请号： | 201420078805.3 | 申请日： | 2014-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN203705555U | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 杨雷;张建华 | 申请（专利权）人： | 西安电炉研究所有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/20 | 分类号： | G01R27/20 |
| 代理公司： | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人： | 李罡 |
| 地址： | 710061 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 在线 化学 沉积 绝缘 判定 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种在线式化学气相沉积炉的对地绝缘判定系统，其特征在于：
炉内每一个加热区的电阻带及炉衬分别串联一个多路转换开关后并联，再与电量变送器、变流电阻、单相降压变压器电源和炉壳串联成闭环测试电路系统；
电量变送器接入智能数字仪表和报警提示系统。
2.根据权利要求1所述的一种在线式化学气相沉积炉的对地绝缘判定系统，其特征在于：
炉内各加热区的电阻带及炉衬设置并联的测试断开位，测试断开位串联有多路转换开关。
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