[实用新型]四氯化硅电加热器有效
| 申请号： | 201420070074.8 | 申请日： | 2014-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN203744530U | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 陈自力;徐岩;宋安宁;贾坤;窦晓龙;田茂远 | 申请（专利权）人： | 陕西天宏硅材料有限责任公司 |
| 主分类号： | F24H3/00 | 分类号： | F24H3/00;F24H9/18;H05B3/42 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 712038 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氯化 加热器 | ||
【权利要求书】：
1.四氯化硅电加热器，其特征在于，包括：
至少三个压力容器，三个压力容器的结构一致，每个压力容器包括一容器管体，所述容器管体内平行设置若干根电加热管，电加热束设置于所述电加热管内，以及一容器管体上的测温元件，
三个压力容器相互贯通，分别为第一压力容器，第二压力容器以及第三压力容器；
所述第一压力容器的端部设置第一连接孔，与所述第二压力容器的第二连接孔相互连通，
所述第二压力容器的端部设置第三连接孔，与所述第三压力容器的第四连接孔相互连通，
且所述第一压力容器一侧设置一四氯化硅进口，第三压力容器一侧设置一四氯化硅出口。
2.根据权利要求1所述的四氯化硅电加热器，其特征在于：所述第一连接孔与第二连接孔通过第一连接管连通，第三连接孔与第四连接孔通过第二连接管连通。
3.根据权利要求1所述的四氯化硅电加热器，其特征在于：所述电加热管内还架设一折流板，所述折流板间隔设置，均匀排布于所述容器管体内。
4.根据权利要求1所述的四氯化硅电加热器，其特征在于：所述第三压力容器一侧还增设一排污口，以及在所述第三压力容器的四氯化硅出口处设置一出口测温热电偶。
5.根据权利要求1所述的四氯化硅电加热器，其特征在于：所述第一压力容器，第二压力容器以及第三压力容器的端部均设置一加热芯组件。
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