[实用新型]一种外延炉尾气处理器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种外延炉尾气处理器。

背景技术

外延炉作业过程中产生的气体经尾气处理器处理后通过排气管排出。如图1所示，传统的外延炉尾气处理器排气管出气口朝上，雨水、灰尘等杂质很容易通过出气口进入排气管，造成排气管堵塞，尾气处理器受雨水侵蚀，存在腐蚀、损坏的危险。

如图2所示，现有的外延炉尾气处理器在排气管出气口上加盖了一个可往两边排气的排气盖。排气盖的设计虽然能防止雨水入侵，但排气口仍易受到室外风力影响，导致排气不畅，当外界刮风时，冷空气可从排气盖两边的出气口吹入，形成冷风倒灌。

发明内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种排气结构简单、能有效避免雨水入侵的外延炉尾气处理器。

为实现上述目的，本实用新型通过以下技术方案实现：

一种外延炉尾气处理器，其特征在于，包括封闭容腔和排气管；所述排气管包括第一排气管和第二排气管；所述容腔与所述第一排气管的进气口连通；所述第一排气管的出气口与所述第二排气管的进气口连通；所述第一排气管与所述第二排气管之间的夹角α大于0度且小于180度；所述容腔内的气体通过所述第一排气管和所述第二排气管排出。

优选地是，所述第一排气管与所述第二排气管之间的夹角α为10-170度。

优选地是，所述第二排气管的出气口低于所述第二排气管的进气口。

优选地是，所述排气管还包括第三排气管；所述第三排气管与所述第二排气管的出气口连通；所述第二排气管与所述第三排气管之间的夹角β大于0度且小于180度；所述第二排气管出气口流出的气体通过所述第三排气管排出。

优选地是，所述第二排气管与所述第三排气管之间的夹角β为10～170度。

优选地是，所述第三排气管为竖直管路。

优选地是，所述第三排气管的两端具有开口；所述第二排气管出气口流出的气体通过所述第三排气管两端的开口排出。

优选地是，所述第三排气管与所述第二排气管的出气口连通的位置为所述第三排气管两端开口之间。

优选地是，所述排气管还包括第四排气管和第五排气管；所述第一排气管的出气口还与所述第四排气管的进气口连通；所述第四排气管的出气口与所述第五排气管连通；所述第五排气管两端具有开口；所述第四排气管与所述第二排气管沿所述第一排气管的出气口的中垂线作轴对称；所述第五排气管与所述第三排气管沿所述第一排气管的出气口的中垂线作轴对称；所述容腔内的气体还通过所述第一排气管、第四排气管和第五排气管排出。

本实用新型提供的外延炉尾气处理器，较传统的外延炉尾气处理器，排气结构简单、无需额外的排气盖即可防止雨水入侵。通过设置第二排气管与第一排气管连通，并形成一定角度，可有效避免雨水直接从排气管出气口进入容腔；可根据雨水下落的方向，设置第一排气管与第二排气管的夹角α，理论上夹角α小于0度大于180度均可实现一定的防雨效果，但受制造工艺限制，一般设在10-170度之间；当第二排气管的出气口低于其进气口时，相当于第二排气管向下倾斜，此时，即使雨水被吹入第二排气管，也会沿着倾斜的管路向下排出，防雨效果较好。通过设置第二排气管与第三排气管连通，并形成一定角度，使部分风被挡在第三排气管外，有效减少外界刮风的影响；当第三排气管两端具有开口时，从第三排气管一端开口进入的冷风，可从另一端开口排出，挡风效果较好，排气压力稳定。可根据风向，设置第二排气管与第三排气管的夹角β，理论上夹角β小于0度大于180度均可实现一定的挡风效果，但受制造工艺限制，一般设在10-170度之间；由于风斜向刮的特性，当第三排气管为竖直管路时，挡风效果最好。在第一排气管的另一侧设置对称的第四排气管和第五排气管，可加快容腔内气体的排放速度，同时避免雨水及外界刮风对另一侧排气管的影响。

本实用新型对外延炉尾气处理器的排气管结构进行了改进，成本低、易于实现。

附图说明

图1为传统的外延炉尾气处理器排气管的结构示意图。

图2为现有技术中外延炉尾气处理器排气管的结构示意图。

图3为本实用新型实施例1中外延炉尾气处理器排气管的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型进行详细的描述：

实施例1