[实用新型]一种外延炉尾气处理器有效
| 申请号： | 201420047833.9 | 申请日： | 2014-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN203744748U | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 谢芳吉 | 申请（专利权）人： | 上海晶盟硅材料有限公司 |
| 主分类号： | F27D17/00 | 分类号： | F27D17/00 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201707 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 外延 尾气 处理器 | ||
1.一种外延炉尾气处理器，其特征在于，包括封闭容腔和排气管；所述排气管包括第一排气管和第二排气管；所述容腔与所述第一排气管的进气口连通；所述第一排气管的出气口与所述第二排气管的进气口连通；所述第一排气管与所述第二排气管之间的夹角α大于0度且小于180度；所述容腔内的气体通过所述第一排气管和所述第二排气管排出。
2.如权利要求1所述的外延炉尾气处理器，其特征在于，所述第一排气管与所述第二排气管之间的夹角α为10-170度。
3.如权利要求1所述的外延炉尾气处理器，其特征在于，所述第二排气管的出气口低于所述第二排气管的进气口。
4.如权利要求1至3任一项所述的外延炉尾气处理器，其特征在于，所述排气管还包括第三排气管；所述第三排气管与所述第二排气管的出气口连通；所述第二排气管与所述第三排气管之间的夹角β大于0度且小于180度；所述第二排气管出气口流出的气体通过所述第三排气管排出。
5.如权利要求4所述的外延炉尾气处理器，其特征在于，所述第二排气管与所述第三排气管之间的夹角β为10-170度。
6.如权利要求4所述的外延炉尾气处理器，其特征在于，所述第三排气管为竖直管路。
7.如权利要求4所述的外延炉尾气处理器，其特征在于，所述第三排气管的两端具有开口；所述第二排气管出气口流出的气体通过所述第三排气管两端的开口排出。
8.如权利要求7所述的外延炉尾气处理器，其特征在于，所述第三排气管与所述第二排气管的出气口连通的位置为所述第三排气管两端开口之间。
9.如权利要求7所述的外延炉尾气处理器，其特征在于，所述排气管还包括第四排气管和第五排气管；所述第一排气管的出气口还与所述第四排气管的进气口连通；所述第四排气管的出气口与所述第五排气管连通；所述第五排气管两端具有开口；所述第四排气管与所述第二排气管沿所述第一排气管的出气口的中垂线作轴对称；所述第五排气管与所述第三排气管沿所述第一排气管的出气口的中垂线作轴对称；所述容腔内的气体还通过所述第一排气管、第四排气管和第五排气管排出。
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