[实用新型]多晶硅锭开方金刚石线锯装置

权利要求书

1.多晶硅锭开方金刚石线锯装置，包括切割多晶硅锭（3）的金刚石线锯机构，其特征在于：所述金刚石线锯机构包括环形金刚石锯丝（1），至少两条以上环形金刚石锯丝（1）分别由各自对应设置的导轮组张紧运转而形成X向相互平行的一组切割面，至少两条以上环形金刚石锯丝（1）分别由各自对应设置的导轮组张紧而形成Y向相互平行的另一组切割面，两组切割面上的X向金刚石锯丝（1）线族和Y向金刚石锯丝（1）线族交叉形成方格形切割网。

2.根据权利要求1所述的多晶硅锭开方金刚石线锯装置，其特征在于：所述X向金刚石锯丝（1）线族同处于一个平面上，所述Y向金刚石锯丝（1）线族同处于另一个平面上。

3.根据权利要求2所述的多晶硅锭开方金刚石线锯装置，其特征在于：两个平面的间距为5mm～20mm。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的多晶硅锭开方金刚石线锯装置，其特征在于：所述导轮组包括两个以上导轮（2）。

5.根据权利要求4所述的多晶硅锭开方金刚石线锯装置，其特征在于：两个以上导轮（2）中包括一个主动轮。

6.根据权利要求5所述的多晶硅锭开方金刚石线锯装置，其特征在于：同组切割面各导轮组中的主动轮位置相对应，且同轴固连于传动轴上。

7.根据权利要求1～3中任意一项所述的多晶硅锭开方金刚石线锯装置，其特征在于：所述X向金刚石锯丝（1）线族的线间距相等，Y向金刚石锯丝（1）线族的线间距相等。