[实用新型]一种多腔室气体蠕动泵有效
| 申请号： | 201420033020.4 | 申请日： | 2014-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN203670165U | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 张伟明 | 申请（专利权）人： | 中电科技德清华莹电子有限公司 |
| 主分类号： | F04B43/12 | 分类号： | F04B43/12 |
| 代理公司： | 杭州丰禾专利事务所有限公司 33214 | 代理人： | 王鹏举 |
| 地址： | 313200 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多腔室 气体 蠕动 | ||
【权利要求书】：
1.一种多腔室气体蠕动泵，其特征在于，所述的多腔室气体蠕动泵包括泵体和若干硅胶管，所述的泵体内设有若干个空腔，所述的硅胶管穿过空腔后穿设于泵体上，所述的若干硅胶管与若干空腔一一对应，所述的硅胶管上靠近泵体的两端处设有进口单向阀和出口单向阀，所述的泵体上开设有若干个与空腔相通的通孔，所述的通孔与空腔一一对应。
2.如权利要求1所述的多腔室气体蠕动泵，其特征在于，所述的泵体包括壳体和设置于壳体两端的端盖，所述的端盖和壳体形成若干空腔。
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