[实用新型]平板型太阳能金属吸收板与中高温集热管镀膜装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及新能源(太阳能)行业，具体的说是一种平板型太阳能金属吸收板与中高温集热管镀膜装置，应用于家庭用、商用太阳能热水器。

背景技术

目前平板型太阳能吸热板制备方法为电镀、阳极氧化，这些方法对环境、人体有很大危害。最近几年从国外引进“蓝钛板”，采用真空磁控溅射镀膜方法制备，但设备价格昂贵，国内也有卧式卷绕镀膜，设备价格也高，工艺难控制，产品质量不稳定，很难满足中小企业要求。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种平板型太阳能金属吸收板与中高温集热管镀膜装置，本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：本实用新型的结构包括前圆弧门、镀膜室、工件架、真空排气孔、上转盘、下转盘、公转盘、转盘联接杆、溅射靶、工件卷筒、屏蔽板，其特征在于镀膜室内设置有工件架和工件卷筒，工件卷筒设置在工件架上，工件架由上转盘、下转盘、公转盘、转盘联接杆、溅射靶和屏蔽板组成，下转盘的下面设置有公转盘，上转盘与下转盘之间通过转盘联接杆连接在一起，在下转盘上的圆周边缘处设置有7个工件卷筒，工件卷筒设置成圆柱形，工件卷筒的上端与上转盘连接，工件卷筒的下端与下转盘连接，下转盘上中间设置有一个十字形的屏蔽板和四个溅射靶，相邻的溅射靶通过十字形的屏蔽板分隔开，溅射靶和屏蔽板的顶端与上转盘接触，在镀膜室的背面设置有真空排气孔，镀膜室内设置真空，镀膜室的一侧还设置有前圆弧门。

本实用新型采用真空磁控溅射镀膜技术，在金属板表面与不锈钢管外表面镀制太阳能选择性吸收涂层，是一种对环境无污染的采用先进工艺技术的镀膜设备，符合能源产业发展方向。该装置由镀膜室、前圆弧门、真空排气孔、溅射靶、屏蔽板、工件架(包括上、下转盘、上下转盘联接杆)、工件卷筒(或不锈钢管架)组成。镀膜室为真空室，在其背面有真空排气孔，前面是前圆弧门，打开前圆弧门安装溅射靶、屏蔽板、工件架及装卸工件卷筒(或不锈钢管架)；关闭前圆弧门抽真空进行磁控溅射镀膜。使用方法：先将需镀膜的金属板卷绕在圆柱工件卷筒上，打开前圆弧门圆柱工件卷筒(或不锈钢管架)安装在工件架上，关闭前圆弧门，抽真空，进行溅射镀膜。溅射靶是制备太阳光谱选择性吸收涂层的材料，为了耗材均匀靶管旋转，工件架下转盘为行星式公、自转结构，上下转盘与联接杆组成的工件架完成工件绕溅射靶公转，同时圆柱工件卷筒(或不锈钢管架)自转，以得到均匀的太阳光谱选择性吸收涂层。

本实用新型的有益效果是，本实用新型具有以下优点：1、为间歇式镀膜，设备简单易操作，工艺稳定，质量可靠；2、设备价低，既能满足中小企业需求，又可根据产量配备机台数量，满足大企业生产需求；3、也可用于中高温集热管(不锈钢管)镀膜。

附图说明

图1：本实用新型实施例结构示意图。

图2：本实用新型实施例镀膜室结构示意图。

图3：本实用新型实施例工件架结构示意图。

图4：本实用新型实施例工件架与工件卷筒结构示意图。

图5：本实用新型实施例工件架与工件卷筒俯视结构示意图。

图中：前圆弧门1、镀膜室2、工件架3、真空排气孔4、上转盘5、下转盘6、公转盘7、转盘联接杆8、溅射靶9、工件卷筒10、屏蔽板11。

具体实施方式

参照附图说明对本实用新型作以下具体的详细说明。如附图所示，本实用新型的结构包括前圆弧门1、镀膜室2、工件架3、真空排气孔4、上转盘5、下转盘6、公转盘7、转盘联接杆8、溅射靶9、工件卷筒10、屏蔽板11，其特征在于镀膜室2内设置有工件架3和工件卷筒10，工件卷筒10设置在工件架3上，工件架3由上转盘5、下转盘6、公转盘7、转盘联接杆8、溅射靶9和屏蔽板11组成，下转盘6的下面设置有公转盘7，上转盘5与下转盘6之间通过转盘联接杆8连接在一起，在下转盘6上的圆周边缘处设置有7个工件卷筒10，工件卷筒10设置成圆柱形，工件卷筒10的上端与上转盘5连接，工件卷筒10的下端与下转盘6连接，下转盘6上中间设置有一个十字形的屏蔽板11和四个溅射靶9，相邻的溅射靶9通过十字形的屏蔽板11分隔开，溅射靶9和屏蔽板11的顶端与上转盘5接触，在镀膜室2的背面设置有真空排气孔4，镀膜室2内设置真空，镀膜室2的一侧还设置有前圆弧门1。

上面所述的实施例仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的构思和范围进行限定，在不脱离本实用新型设计构思的前提下，本领域中普通工程技术人员对本实用新型的技术方案作出的各种变型和改进，均应落入本实用新型的保护范围，本实用新型请求保护的技术内容，已经全部记载在权利要求书中。