[实用新型]平板型太阳能金属吸收板与中高温集热管镀膜装置有效
| 申请号： | 201420025586.2 | 申请日： | 2014-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN203683654U | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 崔世娟 | 申请（专利权）人： | 崔世娟 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 253000 山东省德州市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 平板 太阳能 金属 吸收 高温 热管 镀膜 装置 | ||
【权利要求书】：
1.平板型太阳能金属吸收板与中高温集热管镀膜装置，包括前圆弧门(1)、镀膜室(2)、工件架(3)、真空排气孔(4)、上转盘(5)、下转盘(6)、公转盘(7)、转盘联接杆(8)、溅射靶(9)、工件卷筒(10)、屏蔽板(11)，其特征在于镀膜室(2)内设置有工件架(3)和工件卷筒(10)，工件卷筒(10)设置在工件架(3)上，工件架(3)由上转盘(5)、下转盘(6)、公转盘(7)、转盘联接杆(8)、溅射靶(9)和屏蔽板(11)组成，下转盘(6)的下面设置有公转盘(7)，上转盘(5)与下转盘(6)之间通过转盘联接杆(8)连接在一起，在下转盘(6)上的圆周边缘处设置有7个工件卷筒(10)，工件卷筒(10)设置成圆柱形，工件卷筒(10)的上端与上转盘(5)连接，工件卷筒(10)的下端与下转盘(6)连接，下转盘(6)上中间设置有一个十字形的屏蔽板(11)和四个溅射靶(9)，相邻的溅射靶(9)通过十字形的屏蔽板(11)分隔开，溅射靶(9)和屏蔽板(11)的顶端与上转盘(5)接触，在镀膜室(2)的背面设置有真空排气孔(4)，镀膜室(2)内设置真空，镀膜室(2)的一侧还设置有前圆弧门(1)。
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