[实用新型]一种线性电容式微波功率传感器

权利要求书

1.一种线性电容式微波功率传感器，其特征在于，该传感器包括衬底（5）、在所述衬底（5）上依次间隔设置的悬臂梁锚区（2）、微带线（1）、传感电极（4），以及设置在微带线（1）上方的悬臂梁（3），悬臂梁（3）的一端与悬臂梁锚区（2）连接，另一端对应悬空在感应电极（4）的上方。

2.根据权利要求1所述的线性电容式微波功率传感器，其特征在于，所述悬臂梁（3）采用不规则形状。

3.根据权利要求1所述的线性电容式微波功率传感器，其特征在于，感应电极（4）包括设置在衬底（5）的感应电极金属（41）和设在感应电极金属（41）上的感应电极绝缘层（42），悬臂梁（3）的自由端与感应电极（4）之间采用“拉链式”运动，悬臂梁（3）的自由端与感应电极（4）之间采用”拉链式“运动，即悬臂梁（3）的自由端与传感电极（4）采用由悬臂梁（3）自由端顶端向悬臂梁锚区（2）方向与感应电极（4）逐步接触的运动方式。