[发明专利]一种晶圆清洗系统在审
| 申请号： | 201410821743.5 | 申请日： | 2014-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN104492764A | 公开（公告）日： | 2015-04-08 |
| 发明（设计）人： | 刘思佳 | 申请（专利权）人： | 苏州凯锝微电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/04 | 分类号： | B08B7/04;B08B3/02;B08B5/02;H01L21/02 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶圆清洗系统，其特征在于，包括晶圆喷液装置、晶圆旋转装置、晶圆鼓风装置，所述晶圆喷液装置设置与所述晶圆旋转装置的上方，所述晶圆鼓风装置设置于所述晶圆旋转装置的一侧。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗系统，其特征在于，所述晶圆喷液装置包括喷液管，所述喷液管内设置有清洗液。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗系统，其特征在于，所述晶圆旋转装置包括水平旋转台、基座、内旋转卡爪、晶圆，所述基座固定设置于所述水平旋转台上，所述内旋转卡爪设置于所述基座的内侧，所述内旋转卡爪与所述晶圆紧密贴合。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆清洗系统，其特征在于，所述内旋转卡爪设置有卡槽，所述卡槽与所述晶圆的尺寸大小相配合。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆清洗系统，其特征在于，所述基座内部设置有驱动器，所述驱动器与所述内旋转卡爪相连。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆清洗系统，其特征在于，所述水平旋转台下端设置有驱动马达。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗系统，其特征在于，所述晶圆鼓风装置包括鼓风机。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州凯锝微电子有限公司，未经苏州凯锝微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410821743.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种危险药剂盘清洗装置
- 下一篇：再生塑料瓶片新型清洗装置
