[发明专利]对准标记布置、半导体工件和用于对准晶圆的方法有效
| 申请号： | 201410806900.5 | 申请日： | 2014-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN104733440B | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | A·韦尔茨;E·施泰因基希纳 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 对准 标记 布置 半导体 工件 用于 方法 | ||
1.一种对准标记布置，包括：
多个对准标记，在一行中彼此接近地设置，其中满足以下至少一个条件：
所述多个对准标记中的第一对准标记具有第一宽度，所述多个对准标记中的第二对准标记具有不同于所述第一宽度的第二宽度；
所述多个对准标记中的第一对相邻的对准标记以第一间距进行布置，所述多个对准标记中的第二对相邻的对准标记以不同于所述第一间距的第二间距进行布置，
其中所述多个对准标记用于通过步进机或扫描仪对准光刻限定层，以及
其中所述对准标记布置在所述对准标记的间距和宽度中的至少一个方面包括不对称性。
2.根据权利要求1所述的对准标记布置，其中所述第一对准标记和所述第二对准标记是相邻的对准标记。
3.根据权利要求1所述的对准标记布置，其中所述第二宽度是所述第一宽度的至少两倍。
4.根据权利要求1所述的对准标记布置，其中所述第二间距是所述第一间距的至少两倍。
5.根据权利要求1所述的对准标记布置，其中所述多个对准标记中的第三对准标记具有不同于所述第一宽度和所述第二宽度的第三宽度。
6.根据权利要求5所述的对准标记布置，其中所述第二对准标记设置在所述第一对准标记和所述第三对准标记之间，并且
其中所述第二宽度大于所述第一宽度且所述第三宽度大于所述第二宽度。
7.根据权利要求6所述的对准标记布置，其中所述第二对准标记与所述第一对准标记和所述第三对准标记相邻。
8.根据权利要求5所述的对准标记布置，其中所述第二对准标记设置在所述第一对准标记和所述第三对准标记之间，并且
其中所述第二宽度小于所述第一宽度且所述第三宽度大于所述第一宽度。
9.根据权利要求8所述的对准标记布置，其中所述第二对准标记与所述第一对准标记和所述第三对准标记相邻。
10.根据权利要求1所述的对准标记布置，其中所述第一对相邻的对准标记包括第一对准标记和与所述第一对准标记相邻的第二对准标记，并且
其中所述第二对相邻的对准标记包括所述第二对准标记和与所述第二对准标记相邻的第三对准标记。
11.根据权利要求1所述的对准标记布置，其中所述多个对准标记中的第三对相邻的对准标记以不同于所述第一间距和所述第二间距的第三间距进行布置。
12.根据权利要求11所述的对准标记布置，其中所述第一对相邻的对准标记包括第一对准标记和与所述第一对准标记相邻的第二对准标记，
其中所述第二对相邻的对准标记包括所述第二对准标记和与所述第二对准标记相邻的第三对准标记，并且
其中所述第三对相邻的对准标记包括所述第三对准标记和与所述第三对准标记相邻的第四对准标记。
13.根据权利要求12所述的对准标记布置，其中所述第二间距大于所述第一间距且所述第三间距大于所述第二间距。
14.根据权利要求12所述的对准标记布置，其中所述第二间距小于所述第一间距且所述第三间距大于所述第一间距。
15.根据权利要求1所述的对准标记布置，其中所述多个对准标记包括多个伸长对准标记。
16.根据权利要求15所述的对准标记布置，其中所述伸长对准标记垂直于行方向伸长。
17.根据权利要求15所述的对准标记布置，其中每个所述伸长对准标记均具有带状和槽状中的至少一种形状。
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