[发明专利]振动元件、电子装置、电子设备以及移动体

说明书

技术领域

本发明涉及一种振动元件、电子装置、电子设备以及移动体。

背景技术

一直以来，角速度传感器被用于对船舶、航空器、火箭等的姿态实施自动控制的技术中，最近，在车辆的车身控制、车辆导航装置系统的本车辆位置检测、数码照相机、录像机以及手机的振动控制补偿(所谓的手振补偿)等中被使用。伴随着以上这些电子设备的小型化，角速度传感器也被要求小型化以及扁平化(薄型化)。

对此，当使具有驱动用或检测用的振动臂的角速度传感器用的振动元件小型化时，由于设置于各个振动臂上的电极的面积变小，因此，存在Q值降低从而检测灵敏度劣化的问题。因此，在专利文献1中，公开了如下内容，即，通过在各个振动臂上设置槽部，从而提高了电场效应，并升高了Q值，进而提高了检测灵敏度。

但是，当从振动臂的一方的主面起通过干蚀刻等而形成槽，并实施使振动臂向主面进行平行位移的弯曲振动时，存在如下问题，即，受到弯矩的影响，降成为叠加了扭转振动的弯曲振动，从而振动向对振动臂进行保持的基部处泄漏，使Q值降低。另外，在用于角速度传感器的情况下，叠加有由驱动用振动臂产生的扭转振动的弯曲振动将经由基部而传递至检测用振动臂，并使检测用振动臂进行振动，从而存在如下问题，即，在未施加有角速度的状态下，也产生输出信号(0点输出)，从而产生了误差。因此，在使具备仅从一个主面起形成的槽的振动臂进行弯曲振动的情况下，存在抑制扭转振动的产生的课题。

专利文献1日本特开2009－156832号公报

发明内容

本发明是为了解决上述课题中的至少一部分而实施的，其能够作为以下的方式或者应用例而实现。

应用例1

本应用例所涉及的振动元件的特征在于，具备：基部；振动臂，其从所述基部延伸出；槽部，其从所述振动臂的第一主面朝向相对于所述第一主面而处于相反侧的第二主面而设置有有底的槽，在与所述振动臂的延伸方向垂直的方向上的截面视图中，所述振动臂的重心处于与所述第一主面侧相比靠所述第二主面侧，在所述第二主面的至少一部分上设置有质量部。

根据本应用例，通过将振动臂的截面的重心设在与第一主面侧相比靠第二主面侧，并在未设有槽的振动臂的第二主面上设置质量部，从而在与振动臂的延伸方向正交的振动臂的截面上，使从振动臂的截面的重心到槽部顶端为止的长度、与从振动臂的截面的重心到质量部顶端为止的长度大致均等。因此，在使振动臂在面内进行弯曲振动的情况下，能够降低由从振动臂的截面的重心起的长度的不同而产生的弯矩，并能够抑制扭转振动的产生且获得具有较高的Q值的振动元件。另外，在应用于角速度传感器的振动元件的情况下，具有如下效果，即，抑制了由驱动用振动臂产生的扭转振动，并能够降低未施加有检测用振动臂上的角速度的状态下的0点输出，从而能够获得高精度的角速度传感器。

应用例2

在上述应用例所述的振动元件中，其特征在于，所述质量部被设置在，与构成所述槽部的厚壁部重叠的所述第二主面的至少一部分上。

根据本应用例，通过在与构成槽部的厚壁部重叠的第二主面上设置质量部，从而能够使从振动臂的截面的重心到槽部顶端为止的长度、与从振动臂的截面的重心到质量部顶端为止的长度更加均等。因此，在使振动臂在面内进行弯曲振动的情况下，具有如下效果，即，能够降低因从振动臂的截面的重心起的长度的不同而产生的弯矩，由此能够抑制扭转振动的产生而获得具有较高的Q值的振动元件。

应用例3

在上述应用例所述的振动元件中，其特征在于，所述质量部被设置在，与所述槽部的底部重叠的所述第二主面的至少一部分上。

根据本应用例，通过在与槽部的底部重叠的第二主面上设置质量部，从而与将质量部设置在与厚壁部重叠的第二主面上的情况相同，能够使从振动臂的截面的重心到槽部顶端为止的长度、与从振动臂的截面的重心到质量部顶端为止的长度大致均等。因此，在使振动臂在面内进行弯曲振动的情况下，具有如下效果，即，能够降低因从振动臂的截面的重心起的长度的不同而产生的弯矩，由此能够抑制扭转振动的产生而获得具有较高的Q值的振动元件。

应用例4

在上述应用例所述的振动元件中，其特征在于，所述质量部被设置在所述第一主面的至少一部分上。