[发明专利]振动元件、电子装置、电子设备以及移动体

权利要求书

1.一种振动元件，其特征在于，具备：

基部；

振动臂，其从所述基部延伸出；

槽部，其从所述振动臂的第一主面朝向相对于所述第一主面而处于相反侧的第二主面而设置有有底的槽，

在与所述振动臂的延伸方向垂直的方向上的截面视图中，

所述振动臂的重心处于与所述第一主面侧相比靠所述第二主面侧，

在所述第二主面的至少一部分上设置有质量部。

2.如权利要求1所述的振动元件，其特征在于，

所述质量部被设置在，与构成所述槽部的厚壁部重叠的所述第二主面的至少一部分上。

3.如权利要求1所述的振动元件，其特征在于，

质量部被设置在与所述槽部的底部重叠的所述第二主面的至少一部分上。

4.如权利要求1至3中的任一项所述的振动元件，其特征在于，

所述质量部被设置在所述第一主面的至少一部分上。

5.如权利要求1所述的振动元件，其特征在于，

沿着所述振动臂的延伸方向，设置有多个所述槽。

6.如权利要求2所述的振动元件，其特征在于，

沿着所述振动臂的延伸方向，设置有多个所述槽。

7.如权利要求3所述的振动元件，其特征在于，

沿着所述振动臂的延伸方向，设置有多个所述槽。

8.如权利要求1所述的振动元件，其特征在于，

在所述截面视图中，配置有多个所述槽。

9.如权利要求2所述的振动元件，其特征在于，

在所述截面视图中，配置有多个所述槽。

10.如权利要求3所述的振动元件，其特征在于，

在所述截面视图中，配置有多个所述槽。

11.如权利要求1所述的振动元件，其特征在于，

在所述振动臂上设置有电极，所述电极的所述延伸方向的长度的中心被设置在，与所述质量部的所述延伸方向的长度的中心相比靠所述振动臂的所述基部侧。

12.如权利要求1所述的振动元件，其特征在于，

在所述振动臂上，于所述延伸方向的顶端侧设置有锤部。

13.如权利要求2所述的振动元件，其特征在于，

在所述振动臂上，于所述延伸方向的顶端侧设置有锤部。

14.如权利要求3所述的振动元件，其特征在于，

在所述振动臂上，于所述延伸方向的顶端侧设置有锤部。

15.一种电子装置，其特征在于，具备：

权利要求1的振动元件；

电路元件。

16.一种电子设备，其特征在于，

具备权利要求1所述的振动元件。

17.一种移动体，其特征在于，

具备权利要求1所述的振动元件。