[发明专利]基板升降销及基板处理装置

权利要求书

1.一种基板升降销，作为被插入垂直的贯通口(1b)而以上下相对运动并支撑基板(2)的升降销，其中所述贯通口比形成于基板支架(1)上部面的支撑槽(1a)的底面更狭窄，

所述升降销，包括：

主体部(10)，被插入所述贯通口(1b)，当基板支架(1)上升时，被所述支撑槽(1a)钩住而下降受限；

销部(20)，上下运动地结合到所述主体部(10)，而支撑所述基板(2)的下部面；及

弹性部(30)，在所述基板(2)安放到所述基板支架(1)上部面的状态下，施加弹性力而使所述销部(20)的上部面与所述基板(2)下部面密贴。

2.根据权利要求1所述的基板升降销，其特征在于，还包括：

结合部(40)，限制所述销部(20)对所述主体部(10)的相对性的上下运动并使两者结合。

3.根据权利要求2所述的基板升降销，其特征在于，

所述主体部(10)具备：突出坎(13)，在上部外周面并钩到所述支撑槽(1a)；导槽(11)，具有与上部面垂直的内部空间；及结合孔(12)，与所述导槽(11)以水平方向连通；

所述销部(20)，具备：头部(21)，支撑所述基板(2)；滑动部(22)，被插入所述导槽(11)；及限制孔(23)，比所述结合孔(12)向垂直方向长长地形成而以水平方向贯通所述滑动部(22)；

所述弹性部(30)，位于所述滑动部(22)的下端与所述导槽(11)底面之间，向所述销部(20)施加向上的弹性力；

所述结合部(40)，被插入所述结合孔(12)及所述限制孔(23)。

4.根据权利要求3所述的基板升降销，其特征在于，

所述限制孔(23)对所述结合孔(12)垂直方向长度的比例为1.5倍～3倍。

5.根据权利要求1所述的基板升降销，其特征在于，

所述弹性部(30)为压缩螺旋弹簧或碟形弹簧。

6.根据权利要求3所述的基板升降销，其特征在于，

所述限制孔(23)的截面为长孔形或长方形。

7.根据权利要求3所述的基板升降销，其特征在于，

在所述升降销上部安放所述基板(2)之前，所述销部(20)的上部面与所述突出坎(13)的下部面之间的距离(D)大于支撑槽(h)的深度，

在所述升降销上部安放所述基板(2)之后，所述销部(20)的上部面与所述突出坎(13)的下部面之间的距离(D)小于支撑槽(h)的深度。

8.根据权利要求1所述的基板升降销，其特征在于，还包括:

下端延长部，结合到所述主体部下端，延长所述主体部下端的长度。

9.根据权利要求1所述的基板升降销，其特征在于，

所述主体部为金属材质，所述下端延长部为非金属材质。

10.一种基板处理装置，包括：

腔室(5)，具有处理基板(2)的内部空间；

基板支架(1)，通过在所述腔室(5)内部上下运动而安放所述基板(2)，上部面形成支撑槽(1a)，形成比所述支撑槽(1a)的底面更狭窄的垂直的贯通口(1b)；及

所述权利要求1的升降销。

11.根据权利要求10所述的基板处理装置，其特征在于，

所述基板支架(1)为加热所述基板(2)的加热器。

12.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，还包括:

下端延长部，结合到所述主体部下端，延长所述主体部下端的长度。