[发明专利]柔性显示基板及其制作方法

说明书

技术领域

本发明涉及柔性显示技术领域，尤其涉及一种柔性显示基板及其制作方法。

背景技术

一般的柔性显示基板主要采用聚酰亚胺作为衬底来制作，聚酰亚胺具有良好的热性能、电性能等，但是，聚酰亚胺是一种热塑性材料，热膨胀系数较大，通常为10ppm/℃以上。此外，一般地，柔性显示基板在硬性基板(通常为玻璃)上进行制作，而玻璃的热膨胀系数只有3.6ppm/℃。因此，在制作柔性显示基板的过程中，由于聚酰亚胺和玻璃的热膨胀系数相差较大，加温过程会引起热膨胀，而热膨胀会引起应力问题，从而容易导致柔性显示基板翘曲，图形偏移。

发明内容

基于此，有必要针对如何改善柔性显示基板翘曲和图形偏移的问题，提出一种柔性显示基板及其制作方法。

一种柔性显示基板，包括衬底，所述衬底包括聚酰亚胺薄膜，所述聚酰亚胺薄膜掺杂有离子。

在其中一个实施例中，所述离子为化学性质不活泼离子。

在其中一个实施例中，所述聚酰亚胺薄膜的表面的整面区域掺杂有离子。

在其中一个实施例中，所述聚酰亚胺薄膜的表面的部分区域掺杂有离子，且所述掺杂有离子的区域为网状结构。

本发明还提供一种柔性显示基板的制作方法，所述方法包括步骤：

在硬性基板上制备一层聚酰亚胺薄膜；

通过离子注入的方法，将离子注入到所述聚酰亚胺薄膜的表面，得到改性的聚酰亚胺薄膜；

在所述改性的聚酰亚胺薄膜上，制备显示器件；

将所述改性的聚酰亚胺薄膜从所述硬性基板上剥离。

在其中一个实施例中，在所述通过离子注入的方法，将离子注入到所述聚酰亚胺薄膜的表面，得到改性的聚酰亚胺薄膜的步骤之前，通过成膜和刻蚀的方法，在所述聚酰亚胺薄膜上形成掩膜图案。

在其中一个实施例中，在所述通过离子注入的方法，将注入到所述聚酰亚胺薄膜的表面，得到改性的聚酰亚胺薄膜的步骤之后，将所述掩膜图案去除。

在其中一个实施例中，形成所述掩膜图案的材料为金属材料。

在其中一个实施例中，所述离子注入的注入能量的范围为50千电子伏至50兆电子伏，所述离子注入的注入剂量的范围为每平方厘米1.0×10¹²至1.0×10¹⁷个离子。

在其中一个实施例中，所述离子为化学性质不活泼离子。

上述柔性显示基板及其制作方法，通过离子注入的方法，将离子注入到聚酰亚胺薄膜，对聚酰亚胺薄膜进行改性，由于离子的注入，破坏聚酰亚胺薄膜原有的共价键，生成了新的芳香、烯烃、羧基和羟基基团，从而提高聚酰亚胺薄膜的弹性模量，降低聚酰亚胺薄膜的热膨胀系数，从而改善柔性显示基板的翘曲问题和图形偏移。

附图说明

图1为本发明第一实施例柔性显示基板的制作方法的流程示意图；

图2为本发明第一实施例中离子注入到聚酰亚胺薄膜的表面的剖面示意图；

图3为本发明第一实施例中离子注入到聚酰亚胺薄膜的表面后的平面示意图；

图4为本发明第二实施例柔性显示基板的制作方法的流程示意图；

图5为本发明第二实施例中离子注入到聚酰亚胺薄膜的表面的剖面示意图；

图6为本发明第二实施例中离子注入到聚酰亚胺薄膜的表面后的平面示意图。

具体实施方式

为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及取得的效果，下面结合附图及较佳实施例，对本发明的技术方案，进行清楚和完整的描述。

如图1、图2和图3所示，第一实施例的柔性显示基板的制作方法包括如下步骤：首先，执行S200，在硬性基板10上制备一层聚酰亚胺薄膜11。具体地，在本实施例中，硬性基板10为玻璃基板，通过涂布的方法，在硬性基板10制备一层聚酰亚胺薄膜11。