[发明专利]柔性显示基板及其制作方法在审
| 申请号： | 201410783129.4 | 申请日： | 2014-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN104507266A | 公开（公告）日： | 2015-04-08 |
| 发明（设计）人： | 郭瑞;徐磊;邓亮;赵景训;秦心宇;卜凡中 | 申请（专利权）人： | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/28 | 分类号： | H05K3/28;C08L79/08 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 柔性 显示 及其 制作方法 | ||
1.一种柔性显示基板，包括衬底，所述衬底包括聚酰亚胺薄膜，其特征在于，所述聚酰亚胺薄膜掺杂有离子。
2.根据权利要求1所述的柔性显示基板，其特征在于，所述聚酰亚胺薄膜的表面的整面区域掺杂有离子。
3.根据权利要求1所述的柔性显示基板，其特征在于，所述聚酰亚胺薄膜的表面的部分区域掺杂有离子，且所述掺杂有离子的区域为网状结构。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的柔性显示基板，其特征在于，所述离子为化学性质不活泼离子。
5.一种柔性显示基板的制作方法，其特征在于，所述方法包括步骤：
在硬性基板上制备一层聚酰亚胺薄膜；
通过离子注入的方法，将离子注入到所述聚酰亚胺薄膜的表面，得到改性的聚酰亚胺薄膜；
在所述改性的聚酰亚胺薄膜上，制备显示器件；
将所述改性的聚酰亚胺薄膜从所述硬性基板上剥离。
6.根据权利要求5所述的柔性显示基板的制作方法，其特征在于，在所述通过离子注入的方法，将离子注入到所述聚酰亚胺薄膜的表面，得到改性的聚酰亚胺薄膜的步骤之前，通过成膜和刻蚀的方法，在所述聚酰亚胺薄膜上形成掩膜图案。
7.根据权利要求6所述的柔性显示基板的制作方法，其特征在于，在所述通过离子注入的方法，将离子注入到所述聚酰亚胺薄膜的表面，得到改性的聚酰亚胺薄膜的步骤之后，将所述掩膜图案去除。
8.根据权利要求7所述的柔性显示基板的制作方法，其特征在于，形成所述掩膜图案的材料为金属材料。
9.根据权利要求5所述的柔性显示基板的制作方法，其特征在于，所述离子注入的注入能量的范围为50千电子伏至50兆电子伏，所述离子注入的注入剂量的范围为每平方厘米1.0×1012至1.0×1017个离子。
10.根据权利要求5所述的柔性显示基板的制作方法，其特征在于，所述离子为化学性质不活泼离子。
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