[发明专利]用于在衬底上固定微芯片的方法在审

专利信息
申请号: 201410737761.5 申请日: 2014-12-05
公开(公告)号: CN104692320A 公开(公告)日: 2015-06-10
发明(设计)人: M·克瑙斯;R·赖兴巴赫;S·莫格;D·豪格;H·谢勒 申请(专利权)人: 罗伯特·博世有限公司
主分类号: B81C3/00 分类号: B81C3/00
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 郭毅
地址: 德国斯*** 国省代码: 德国;DE
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摘要:
搜索关键词: 用于 衬底 固定 芯片 方法
【权利要求书】:

1.一种用于在衬底上固定微芯片的方法,所述方法具有以下方法步骤:

(A)提供具有衬底面(11)的衬底(10);

(B)将第一粘合剂(100)施加到所述衬底面(11)上;

(C)将第二粘合剂(200)施加到所述第一粘合剂(100)上和/或所述衬底面(11)上;

(D)朝向所述衬底面(11)按压微芯片(300),直至所述微芯片(300)与至少所述第一粘合剂(100)和/或所述第二粘合剂(200)接触。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述步骤(B)之后并且在所述步骤(C)之前使所述第一粘合剂(100)硬化。

3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一粘合剂(100)与所述第二粘合剂(200)相同。

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一粘合剂(100)与所述第二粘合剂(200)不同。

5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,未经结构化地施加所述第一粘合剂(100)和/或所述第二粘合剂(200)。

6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,经结构化地施加所述第一粘合剂(100)和/或所述第二粘合剂(200),尤其以至少一个粘合剂带和/或至少一个粘合点的形式。

7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,以第一粘合剂厚度(110)施加所述第一粘合剂(100)并且以第二粘合剂厚度(210)施加所述第二粘合剂(200),其中,所述第一粘合剂厚度(110)等于所述第二粘合剂厚度(210)。

8.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,以第一粘合剂厚度(110)施加所述第一粘合剂(100)并且以第二粘合剂厚度(210)施加所述第二粘合剂(200),其中,所述第一粘合剂厚度(110)不等于所述第二粘合剂厚度(210);所述第一粘合剂厚度(110)尤其小于所述第二粘合剂厚度(210)。

9.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述衬底面(11)上以平行于所述衬底面(11)的第一延展(111)施加所述第一粘合剂(100),其中,所述第一延展(111)大于所述微芯片(300)的第二延展(311)。

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