[发明专利]用于在衬底上固定微芯片的方法在审
| 申请号: | 201410737761.5 | 申请日: | 2014-12-05 |
| 公开(公告)号: | CN104692320A | 公开(公告)日: | 2015-06-10 |
| 发明(设计)人: | M·克瑙斯;R·赖兴巴赫;S·莫格;D·豪格;H·谢勒 | 申请(专利权)人: | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号: | B81C3/00 | 分类号: | B81C3/00 |
| 代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 郭毅 |
| 地址: | 德国斯*** | 国省代码: | 德国;DE |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 衬底 固定 芯片 方法 | ||
1.一种用于在衬底上固定微芯片的方法,所述方法具有以下方法步骤:
(A)提供具有衬底面(11)的衬底(10);
(B)将第一粘合剂(100)施加到所述衬底面(11)上;
(C)将第二粘合剂(200)施加到所述第一粘合剂(100)上和/或所述衬底面(11)上;
(D)朝向所述衬底面(11)按压微芯片(300),直至所述微芯片(300)与至少所述第一粘合剂(100)和/或所述第二粘合剂(200)接触。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述步骤(B)之后并且在所述步骤(C)之前使所述第一粘合剂(100)硬化。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一粘合剂(100)与所述第二粘合剂(200)相同。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一粘合剂(100)与所述第二粘合剂(200)不同。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,未经结构化地施加所述第一粘合剂(100)和/或所述第二粘合剂(200)。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,经结构化地施加所述第一粘合剂(100)和/或所述第二粘合剂(200),尤其以至少一个粘合剂带和/或至少一个粘合点的形式。
7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,以第一粘合剂厚度(110)施加所述第一粘合剂(100)并且以第二粘合剂厚度(210)施加所述第二粘合剂(200),其中,所述第一粘合剂厚度(110)等于所述第二粘合剂厚度(210)。
8.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,以第一粘合剂厚度(110)施加所述第一粘合剂(100)并且以第二粘合剂厚度(210)施加所述第二粘合剂(200),其中,所述第一粘合剂厚度(110)不等于所述第二粘合剂厚度(210);所述第一粘合剂厚度(110)尤其小于所述第二粘合剂厚度(210)。
9.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述衬底面(11)上以平行于所述衬底面(11)的第一延展(111)施加所述第一粘合剂(100),其中,所述第一延展(111)大于所述微芯片(300)的第二延展(311)。
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