[发明专利]一种有效控制探针卡内探针的针径的方法

说明书

技术领域

本发明属于微电子领域，具体涉及一种有效控制探针卡内探针的针径的方法。

背景技术

随着微电子技术的发展，对微电子器件的测试要求技术越来越高，在追求测试准确的同时对测试的效率及测试过程中对其他器件造成的影响有了更高的追求，目前对微电子器件的测试是直接换上测试待测结构需要用的探针卡进行测试的，有效完成了微电子器件的测试过程。

探针卡内探针的针径非常小，但是随着探针卡使用的时间的增长，探针卡内探针针径(探针卡内探针尖端的直径)会变大，为此在扎到pad时有扎出pad的可能，从而造成器件损坏，而现有测试方法在测试时选用的与待测微电子器件对应的探针卡的性能是否良好用户并不知道，只有在测试完成以后才会知晓，而且由于是在测试完成用户才知道探针卡的性能，如果探针卡不是完好的，无疑浪费了测试时间，降低了测试效率。

因此，如何能找到一种可以在对微电子器件进行测试前即可知晓当前所使用探针卡的性能的方法，以防止测试时间的浪费成为本领域技术人员面临的一大难题。

发明内容

针对上述问题，本发明提出一种有效控制探针卡内探针的针径的方法，在测试前设定针径参考值spec，在对待测微电子实施测试前先对测试所使用的探针卡内探针的针径大小与设定的针径参考值大小进行比较判断，如果探针卡内探针的针径大于预先设定的针径参考值，则停止测试，探针卡送去PM(plan maintain，计划维护)，如果探针卡内探针的针径不大于预先设定的针径参考值，则继续对被测试结构的测试过程。具体方法为：

一种有效控制探针卡内探针的针径的方法，其中，所述方法包括：

提供一包括多个探针的探针卡，每个所述探针均用于连接测试机台和被测试结构；

在所述测试机台上设定所述探针的针径参考值；

在对所述被测试结构进行测试前，判断所述探针的针径是否大于所述针径参考值，若所述探针的针径大于所述针径参考值，则停止所述探针卡对所述被测试结构的测试。

上述方法，其中，所述方法还包括：

若所述探针的针径不大于所述针径参考值，继续进行所述探针卡对所述被测试结构的测试。

上述方法，其中，所述方法还包括：

停止所述探针卡对所述被测试结构的测试后，对所述探针卡进行计划维护。

上述方法，其中，在完成计划维护操作后还包括对所述探针卡进行检测的步骤，以确保探针卡内探针的针径不大于所述针径参考值。

上述方法，其中，所述测试机台还包括：

对针模块，用于执行所述探针与所述探针卡的对针操作。

上述方法，其中，所述对针模块中还设置有针径测量模块，所述针径测量模块用于测量所述探针的针径尺寸。

上述方法，其中，判断所述探针的针径是否大于所述针径参考值的步骤之前，所述针径测量模块对所述探针进行测量，以获取所述探针的针径尺寸。

上述方法，其中，所述测试机台还设置有一报警模块；

当所述探针的针径大于所述针径参考值时，所述报警模块发出报警信息。

本发明达到的有益效果：

通过在对微电子器件测试前对将使用的探针卡内探针的针径(即探针尖端的直径，本文后续中统一称为探针卡内探针的针径)进行判断，有效减小了探针卡内探针的针径变大而扎出pad外造成器件的缩小和损坏的可能，有效减少了测试时间的浪费，提高了测试效率。

附图说明

图1是本发明中有效控制探针卡内探针的针径的方法示意图。

实施方式

下面结合附图和具体的实施例对本发明作进一步的说明，但是不作为本发明的限定。

针对上述存在的问题，本发明披露了一种有效控制探针卡内探针的针径的方法，在对被测试结构微电子器件测试之前，设定一针径参考值spec，然后对测试所用探针卡内探针的的针径进行与针径参考值进行对比判断，然后根据探针卡内探针的针径与针径参考值spec的大小关系作出相应的处理操作，下面结合附图对本实施例做进一步的说明。

本发明提供的方法包括：

提供一包括多个探针的探针卡，在本发明一个优选的实施例中，每个探针均用于连接测试机台和被测试结构；

在本发明一个优选的实施例的，测试机台上设定探针的针径参考值；

在对被测试结构进行测试前，判断探针的针径是否大于所设定的针径参考值，若使用的探针的针径大于设定的针径参考值，则停止探针卡对本发明优选实施例中被测试结构的测试。

在本发明优选的实施例中，本发明的方法还包括：