[发明专利]一种有效控制探针卡内探针的针径的方法

权利要求书

1.一种有效控制探针卡内探针的针径的方法，其特征在于，所述方法包括：

提供一包括多个探针的探针卡，每个所述探针均用于连接测试机台和被测试结构；

在所述测试机台上设定所述探针的针径参考值；

在对所述被测试结构进行测试前，判断所述探针的针径是否大于所述针径参考值，若所述探针的针径大于所述针径参考值，则停止所述探针卡对所述被测试结构的测试。

2.如权利要求1所述方法，其特征在于，所述方法还包括：

若所述探针的针径不大于所述针径参考值，继续进行所述探针卡对所述被测试结构的测试。

3.如权利要求1所述方法，其特征在于，所述方法还包括：

停止所述探针卡对所述被测试结构的测试后，对所述探针卡进行计划维护。

4.如权利要求3所述方法，其特征在于，在完成计划维护操作后还包括对所述探针卡进行检测的步骤，以确保探针卡内探针针径不大于所述针径参考值。

5.如权利要求1所述方法，其特征在于，所述测试机台还包括：

对针模块，用于执行所述探针与所述探针卡的对针操作。

6.如权利要求5所述方法，其特征在于，所述对针模块中还设置有针径测量模块，所述针径测量模块用于测量所述探针的针径尺寸。

7.如权利要求6所述方法，其特征在于，判断所述探针的针径是否大于所述针径参考值的步骤之前，所述针径测量模块对所述探针进行测量，以获取所述探针的针径尺寸。

8.如权利要求1所述方法，其特征在于，所述测试机台还设置有一报警模块；

当所述探针的针径大于所述针径参考值时，所述报警模块发出报警信息。