[发明专利]一种LED刻蚀机托盘结构在审
| 申请号： | 201410684209.4 | 申请日： | 2014-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN104362119A | 公开（公告）日： | 2015-02-18 |
| 发明（设计）人： | 游利 | 申请（专利权）人： | 靖江先锋半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 靖江市靖泰专利事务所 32219 | 代理人： | 陆平 |
| 地址： | 214500 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 led 刻蚀 托盘 结构 | ||
1.一种LED刻蚀机托盘结构，包括托盘（1）和设置在托盘（1）上的数个载片台（2），其特征在于：载片台（2）上设置有定位凸台（6），定位凸台（6）内侧即载片台（2）四周设置有密封沟槽（3）；所述载片台（2）上均匀设置有数个冷却氦气分布孔（5），所述定位凸台（6）上均匀分布有数个避空槽（7），每个载片台（2）周围还设置有数个盖板锁紧螺丝孔（4）；所述托盘上还设置有两个凸出的定位销（9），托盘（1）的背面设置有三圈氦气引导槽（8）。
2.根据权利要求1所述的一种LED刻蚀机托盘结构，其特征在于：所述定位凸台（6）比载片台（2）高0.4mm。
3.根据权利要求2所述的一种LED刻蚀机托盘结构，其特征在于：所述定位凸台（6）上均布四个避空槽（7），避空槽（7）的底面与载片台（2）处于一个平面。
4.根据权利要求1所述的一种LED刻蚀机托盘结构，其特征在于：所述密封沟槽（3）为倒燕尾结构，密封沟槽（3）底面为粗糙度Ra0.4的同心圆密封面。
5.根据权利要求1所述的一种LED刻蚀机托盘结构，其特征在于：所述载片台（2）上均匀设置有七个直径为0.4mm的冷却氦气分布孔（5），其中一个位于载片台（2）的中心，六个均布在密封沟槽（3）内侧。
6.根据权利要求1所述的一种LED刻蚀机托盘结构，其特征在于：所述氦气引导槽（8）为宽度2mm，深度1mm的沟槽。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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