[发明专利]超声波传感器及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种超声波传感器及超声波传感器的制造方法。

背景技术

采用压电薄膜等材料作为压电材料的物质波式感测元件已广泛地应用于工业、国防、消防、电子等不同领域。一种典型的物质波式感测元件为超声波传感器。其中超声波传感器因其操作性不易环境温度、湿度的影响，且具有寿命长、解析度高等特点而在公共场所等恶劣环境下受到广泛应用。超声波传感器一般包括透明电极层用于发射及接收电压、压电材料层用于产生超声波，所述透明电极层的第一电极与压电材料层在超声波传感器的边缘区域通过一导电膜连接，在涂布导电膜时由于压电材料的表面张力较大而使薄膜的边缘缺角导致触控精度下降。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种超声波传感器及其制造方法。

一种超声波传感器，包括：基板；第一电极与第一压电材料层层叠设置于所述基板一侧；第二电极与第二压电材料层层叠设置于所述基板的另一侧；及所述第一压电材料层设置一缺口用于涂布所述导电膜连接所述第一电极与第一压电材料层。

一种超声波传感器的制造方法，包括：

提供一基板，在基板两侧贴合形成第一电极与第二电极；

在所述第一电极上涂布第一压电材料层，在所述第二电极上涂布第二压电材料层；

在所述第一压电材料层上定义一缺口；及在所述缺口处涂布导电膜连接所述第一电极与第一压电材料层。

相较于现有技术，本发明的超声波传感器及制造方法在第二压电材料层上设置一缺口，并在缺口处通过导电膜连接第一电极与第一压电材料层，从而解决由于压电材料表面张大较大而引起的导电膜涂布缺角的现象以增加超声波传感器的感测精度。

附图说明

图1是本发明超声波传感器的俯视图。

图2是图1所示超声波传感器的侧视结构的立体示意图。

图3是图1所示超声波传感器沿III-III线的剖面示意图。

图4-图7是本发明超声波传感器各制造步骤之结构示意图。

图8是本发明超声波传感器制造方法流程图。

主要元件符号说明

超声波传感器100第一压电材料层10第一电极11第一胶体层12基板13第二胶体层14第二电极15第二压电材料层16导电膜17缺口102步骤S201~S207

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。

具体实施方式