[发明专利]超声波传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 201410678969.4 | 申请日： | 2014-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN104681711A | 公开（公告）日： | 2015-06-03 |
| 发明（设计）人： | 王娟 | 申请（专利权）人： | 麦克思智慧资本股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/113 | 分类号： | H01L41/113;H01L41/277 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 汪飞亚 |
| 地址： | 英属维京群岛托托拉岛洛德镇维克*** | 国省代码： | 维尔京群岛;VG |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 超声波传感器 及其 制造 方法 | ||
1.一种超声波传感器，包括：
基板；
第一电极与第一压电材料层层叠设置于所述基板一侧；
第二电极与第二压电材料层层叠设置于所述基板的另一侧；及
所述第一压电材料层设置一缺口用于涂布所述导电膜连接所述第一电极与第一压电材料层。
2.如权利要求1所述的超声波传感器，其特征在于，所述第二电极为输出电压至所述第二压电材料层之发送电极，所述第一电极为接收所述第一压电材料层输出之电压之接收电极。
3.如权利要求1所述的超声波传感器，其特征在于，所述导电膜的材质为银浆。
4.如权利要求3所述的超声波传感器，其特征在于，所述银浆中的导电微粒的直径大于0.01um且小于10um。
5.如权利要求1所述的超声波传感器，其特征在于，所述导电膜的厚度小于10um。
6.如权利要求1所述的超声波传感器，其特征在于，所述导电膜内导电微粒的内聚力大于压电材料层的表面张力。
7.如权利要求1所述的超声波传感器，其特征在于，所述透明电极层的材质为单层透明导电材料。
8.如权利要求7所述的超声波传感器，其特征在于，所述单层透明导电材料包括氧化铟锡、氧化锌、聚乙撑二氧噻吩、碳纳米管、银纳米线以及石墨烯。
9.如权利要求1所述的超声波传感器，其特征在于，所述第一、第二压电材料层的材质为聚二氟亚乙烯。
10.一种超声波传感器的制造方法，包括：
提供一基板，在基板两侧贴合形成第一电极与第二电极；
在所述第一电极上涂布第一压电材料层，在所述第二电极上涂布第二压电材料层；
在所述第一压电材料层上定义一缺口；及
在所述缺口处涂布导电膜连接所述第一电极与第一压电材料层。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于麦克思智慧资本股份有限公司;，未经麦克思智慧资本股份有限公司;许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410678969.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
