[发明专利]设计基于鳍式场效应晶体管（FINFET）的电路的方法及其实施系统

说明书

技术领域

本发明一般地涉及半导体技术领域，更具体地，涉及半导体器件的设计方法和系统。

背景技术

电路设计者接收来自消费者的电路性能要求并设计能够满足性能要求的电路。使用计算机程序来设计电路，计算机程序帮助电路设计者对所设计电路的性能进行仿真。

在电路的设计期间，考虑相邻器件和导电元件之间的电阻和电容以更加精确地预测电路性能。随着节点尺寸的减小，相邻器件和导电元件之间的间隔也减小，从而增加了电阻和电容对电路性能的影响。

对于基于鳍式场效应晶体管(FinFET)器件的电路来说，电路设计者创建两个独立的原理图。一个原理图包括不作为实际电路设计的一部分的人工元件。这些人工元件用于帮助计算相邻器件和连接之间的电阻和电容。另一个原理图不包括人工元件，并且用于帮助配置电路内的器件。使用迭代法来精化这两个原理图，其中迭代法包括对两个原理图进行修改来去除原理图之间的差异并满足性能要求。

发明内容

为了解决现有技术中所存在的缺陷，根据本发明的一方面，提供了一种设计基于鳍式场效应晶体管(FinFET)的电路的方法，所述方法包括：使用处理器，基于性能规范设计第一电路原理图设计，所述第一电路原理图设计不包括人工元件，其中，所述人工元件用于仿真所述基于FinFET的电路的电性能；使用所述处理器，修改所述第一电路原理图设计内的至少一个器件以形成考虑所述人工元件的第二电路原理图设计；使用所述第二 电路原理图并考虑所述人工元件来执行布局前仿真；生成布局，所述布局不考虑所述人工元件；以及执行布局后仿真，所述布局后仿真不考虑所述人工元件。

该方法还包括：执行布局与原理图(LVS)检查，所述LVS检查不考虑所述人工元件；以及执行RC提取，所述RC提取不考虑所述人工元件。

该方法还包括：将所述布局前仿真的结果与所述性能规范进行比较；如果所述布局前仿真的结果不满足所述性能规范，则修正所述第二电路原理图设计；以及如果所述布局前仿真的结果满足所述性能规范，则生成所述布局。

在该方法中，修改所述第一电路原理图设计包括将所述第一电路原理图设计与宏FinFET库组合，其中所述宏FinFET库包括与所述人工元件相关的信息。

在该方法中，修改所述第一电路原理图设计包括将所述第一电路原理图设计与工艺设计工具包(PDK)库和宏FinFET应用程序接口(API)的组合进行组合，其中所述PDK包括所述第一电路原理图设计中的FinFET器件的结构，并且所述宏FinFET API包括与所述人工元件相关的信息。

该方法还包括：将所述宏FinFET API中的网表程序连接到所述PDK库的网表包装中，以包括与所述人工元件相关的信息。

该方法还包括：对PDK库建立约束；以及基于所述约束PDK库，在所述布局前仿真期间接收用于所述人工元件的电性能信息。

在该方法中，接收所述电性能信息包括：从与宏FinFET API组合的约束API接收所述电性能信息。

根据本发明的另一方面，提供了一种设计基于鳍式场效应晶体管(FinFET)的电路的方法，所述方法包括：使用处理器，基于性能规范设计第一电路原理图设计，所述第一电路原理图设计不包括人工元件，其中所述人工元件用于仿真所述基于FinFET的电路的电性能；使用宏FinFET库修改所述第一电路原理图设计以形成包括所述人工元件的第二电路原理图设计，所述第二电路原理图设计可以在寄生模式和不同于所述寄生模式的布局模式之间切换，并且所述宏FinFET库包括与所述寄生模式相关联的 第一参数单元(p单元)符号、与所述布局模式相关联的第二p单元符号、与所述寄生模式相关联的第一p单元原理图、与所述布局模式相关联的第二p单元原理图以及电阻电容(RC)等价方程式；

使用处于所述寄生模式的所述第二电路原理图设计和所述RC等价方程式来执行布局前仿真；使用处于所述布局模式的所述第二电路原理图设计生成布局；以及使用处于所述布局模式的所述第二电路原理图设计来执行布局后仿真。

在该方法中，执行所述布局前仿真包括使用包括所述人工元件的所述第一p单元原理图。

在该方法中，修改所述第一电路原理图包括考虑所述人工元件，所述人工元件包括多晶硅氧化物扩散边缘(PODE)元件、中段制程(MEOL)连接和后段制程(BEOL)连接中的至少一种。