[发明专利]一种Y2O3/Al2O3复合梯度阻氢涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201410674574.7 | 申请日： | 2014-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN105666956B | 公开（公告）日： | 2017-12-26 |
| 发明（设计）人： | 于庆河;郝雷;李帅;何迪;杜淼;刘晓鹏;蒋利军 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院 |
| 主分类号： | B32B1/08 | 分类号： | B32B1/08;B32B15/04;B32B37/00 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司11100 | 代理人： | 刘徐红 |
| 地址： | 100088 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 sub al 复合 梯度 涂层 及其 制备 方法 | ||
1.一种Y2O3/Al2O3复合梯度阻氢涂层，其特征在于：由不锈钢管和施加在不锈钢管内表面的Y2O3/Al2O3复合涂层构成，所述的Y2O3/Al2O3复合涂层为Y2O3涂层和Al2O3涂层交替结构，总层数大于等于4层，所述的Y2O3/Al2O3复合涂层的最内层为Al2O3涂层，最外层为Y2O3涂层，所述的Y2O3/Al2O3复合涂层的厚度为0.1～20μm。
2.根据权利要求1所述的Y2O3/Al2O3复合梯度阻氢涂层，其特征在于：所述的不锈钢管为奥氏体不锈钢或马氏体不锈钢。
3.权利要求1或2所述的Y2O3/Al2O3复合梯度阻氢涂层在高温真空集热管中的应用。
4.根据权利要求3所述的Y2O3/Al2O3复合梯度阻氢涂层在高温真空集热管中的应用，其特征在于：在高温真空集热管的不锈钢中央管的内表面施加Y2O3/Al2O3复合涂层。
5.根据权利要求4所述的Y2O3/Al2O3复合梯度阻氢涂层在高温真空集热管中的应用，其特征在于：所述高温真空集热管由外壁具有光谱选择性吸收涂层的不锈钢中央管和外层玻璃套管组成。
6.一种Y2O3/Al2O3复合梯度阻氢涂层的制备方法，包括如下步骤：
(1)将高温真空集热管不锈钢管内表面抛光至粗糙度0.1～2μm；
(2)采用金属-有机化学气相沉积技术在不锈钢管内表面制备Al2O3涂层；
(3)采用金属-有机化学气相沉积技术在不锈钢管内表面制备Y2O3涂层；
(4)重复上述步骤(2)；
(5)重复上述步骤(3)；
最终获得厚度为0.1-20μm的多层Y2O3/Al2O3复合梯度阻氢涂层。
7.根据权利要求6所述的Y2O3/Al2O3复合梯度阻氢涂层的制备方法，其特征在于：制备Al2O3涂层的反应源温度为50-200℃，载气流量为40-500ml/min；制备Y2O3涂层的反应源温度为50-200℃，载气流量为10-300ml/min。
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