[发明专利]基板结构及其制法在审
申请号: | 201410668545.X | 申请日: | 2014-11-20 |
公开(公告)号: | CN105679740A | 公开(公告)日: | 2016-06-15 |
发明(设计)人: | 游进暐;陈俊龙 | 申请(专利权)人: | 矽品精密工业股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L21/48;H01L21/60 |
代理公司: | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人: | 程伟;王锦阳 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 板结 及其 制法 | ||
1.一种基板结构的制法,包括:
于一承载板上设置至少一强化单元及形成第一线路层;
于该承载板、强化单元及第一线路层上形成一介电层;
于该介电层上形成第二线路层,并使该第二线路层电性连接至该 第一线路层;
移除该承载板,以外露出该第一线路层;以及
于该第一线路层及第二线路层上形成具有多个开口的保护层,以 外露部分该第一线路层及第二线路层。
2.如权利要求1所述的基板结构的制法,其特征为,该强化单元 为层状压合的封装化合物、射出成型的封装化合物、金属材料、或有 机材料。
3.如权利要求1所述的基板结构的制法,其特征为,该强化单元 的材料强度大于该介电层材料强度。
4.如权利要求1所述的基板结构的制法,其特征为,该强化单元 嵌埋于该介电层中。
5.如权利要求1所述的基板结构的制法,其特征为,该制法还包 括:
于该承载板上形成种子层;
于该种子层上形成一图案化阻层,该图案化阻层设有多个开口以 外露部分该种子层;
于该种子层的外露部分上形成第一线路层;以及
移除该图案化阻层。
6.如权利要求1所述的基板结构的制法,其特征为,该制法还包 括于该介电层中形成开孔以外露出部分第一线路层,并于该开孔中形 成导电盲孔,以使该第二线路层透过该导电盲孔电性连接至该第一线 路层。
7.如权利要求1所述的基板结构的制法,其特征为,该强化单元 呈框型结构,并选择性地设置于该基板结构的内侧或基板结构的边缘。
8.如权利要求1所述的基板结构的制法,其特征为,该强化单元 避开线路层而铺满于该介电层中。
9.如权利要求1所述的基板结构的制法,其特征为,该强化单元 以柱状方式分布于该介电层中。
10.如权利要求1所述的基板结构的制法,其特征为,该制法还包 括于第二线路层上增设至少一介电层及第三线路层,并使该第三线路 层电性连接至第二线路层,且该强化单元选择性地设置于单层的该介 电层中或贯穿设于多层的该介电层中。
11.一种基板结构,包括:
介电层,具有相对第一表面及第二表面;
第一线路层,形成于该介电层第一表面;
第二线路层,形成于该介电层第二表面,且该第二线路层电性连 接至该第一线路层;
至少一强化单元,嵌埋于该介电层中;以及
保护层,形成于该介电层、第一线路层及第二线路层上,且该保 护层具有多个开口以外露部份该第一及第二线路层。
12.如权利要求11所述的基板结构,其特征为,该强化单元为层 状压合的封装化合物、射出成型的封装化合物、金属材料、或有机材 料。
13.如权利要求11所述的基板结构,其特征为,该强化单元的材 料强度大于该介电层材料强度。
14.如权利要求11所述的基板结构,其特征为,该介电层中设有 导电盲孔,以使该第二线路层透过该导电盲孔电性连接至该第一线路 层。
15.如权利要求11所述的基板结构,其特征为,该强化单元呈框 型结构,并选择性地设置于该基板结构的内侧或基板结构的边缘。
16.如权利要求11所述的基板结构,其特征为,该强化单元避开 线路层而铺满于该介电层中。
17.如权利要求11所述的基板结构,其特征为,该强化单元以柱 状方式分布于该介电层中。
18.如权利要求11所述的基板结构,其特征为,该基板结构还包 括有形成于第二线路层上的介电层及第三线路层,且该强化单元选择 性地设置于单层的该介电层中或贯穿设于多层的该介电层中。
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