[发明专利]自动清除传送带上沉积金属的设备及其清除方法

说明书

技术领域

本发明涉及自动清洗去除传送带上沉积金属的设备及方法，特别是用于自动清洗去除连续式磁控溅射基片传送带上沉积金属的设备及方法。

背景技术

磁控溅射薄膜生成技术是近年来快速发展的表面处理技术。专利号CN102392224A公布了一种能够在高温真空条件下工作的工件连续排布、翻面、无损收集装置，该装置主要应用于金属或非金属工件的真空磁控溅射涂覆和其它表面处理加工。这套装置传送带材料为不锈钢材料或其它耐腐蚀金属材料，在真空溅射镀膜生产中，部分靶材金属飞溅到传送带上沉积，当沉积金属达到一定厚度后，传送带表面变得凹凸不平，影响装置的正常运行。磁控溅射线上的这些沉积金属主要为Al、Zn、Al₂O₃和ZnO。这些金属沉积物和传送带结合很牢，剥离强度可达20MPa以上，很难用机械方法清除。专利号CN103303656A公布了一种传送带清洗装置。该装置是用物理方法刷洗去除输送链上的油渍、碎肉、碎骨等，主要用于肉类分割加工流水线，根本无法去除磁控溅射镀膜生产中沉积在传送带上的金属。

目前，磁控溅射技术领域还没有解决防止传送带靶材沉积的方法。现有的解决方法是定期更换传送带，这样不仅浪费了传送带材料，而且更换工作复杂，费工费时，也很容易损坏设备零件，因此，需要一种能自动清洗去除传送带上沉积金属的设备及清除方法。

发明内容

本发明要解决的技术问题是针对上述技术现状，提供一种能够自动清除传送带上沉积金属的设备及其清除方法。

自动清除传送带上金属沉积物的设备，其特征包括清洗传动装置、化学清洗装置、清水擦洗装置、酒精擦洗装置和底座，所述清洗传动装置包括电动机、减速器和传动链轮组，所述化学清洗装置包括清洗液汇集槽、清洗液循环管、毛刷清洗辊、泡沫塑料擦干辊、挤压脱水辊一和氮气吹扫管，所述清水擦洗装置包括喷水管、泡沫塑料擦洗辊、泡沫塑料脱水擦洗辊、挤压脱水辊二和乏水汇集槽，所述酒精擦洗装置包括酒精擦洗辊、挤压脱水辊三、酒精汇集槽和排液阀门，所述底座包括座架、设在座架上的行走车轮和设在座架两端上方的升降气缸和升降导轮，以及设在座架上的清洗液储存箱和清洗液循环泵。

所述传动链轮组包括依次带动毛刷清洗辊，泡沫塑料擦干辊，泡沫塑料擦洗辊，泡沫塑料脱水擦洗辊、酒精擦洗辊转动的链轮、链条和齿轮。

所述清洗液循环管还包括连接清洗液循环管一端的循环泵，设在清洗液循环管下的清洗液汇集槽，设在清洗液汇集槽下的清洗液储存箱，设在清洗液储存箱内的与循环泵另一端相连的循环过滤管和阀门。

所述清洗液循环管上平行连接二条相间隔的清洗液喷射管，每根清洗液喷射管设若干向上喷射的喷口。

所述氮气吹扫管包括上层吹扫管和下层吹扫管，每层吹扫管设若干沿清洗槽长度方向吹的吹扫头。

所述清洗槽包括依次相隔开的清洗液汇集槽、乏水汇集槽和酒精汇集槽，在清洗槽上方设接纳传送带箱架的导轨，在导轨两端设前挡块和后挡块。

所述清洗液汇集槽底端设置有清洗液排出管，乏水汇集槽底端设置有乏水排出管，酒精汇集槽下方设置有酒精排出管和排出阀门。

自动清除传送带上沉积金属物的方法，包括以下步骤：

1）先将自动清除传送带上沉积金属物的设备推送至磁控溅射设备出料端口，再将磁控溅射装置中的传送带用箱架推送到清洗设备上直到接触前端挡块，并安装后部挡块锁定传送带箱架；

2）启动升降气缸将清洗液汇集槽升起，使毛刷清洗辊和擦洗辊与传送带接触，并调节清洗槽的高度，使毛刷清洗辊和擦洗辊与传送带完全接触；

3）在清洗液储箱中注入稀硫酸或稀碱清洗液，在酒精汇集槽内注入无水乙醇，连通清洗液循环管路，开启清洗液循环泵，打开自来水龙头，关闭酒精排出管阀门；

4）启动传送带电机使传送带以0.5～3米/小时的速度慢速转动，启动所述清洗传动装置电动机，调节减速器转速为30～60转/分带动所述毛刷清洗辊、泡沫塑料擦干辊、泡沫塑料擦洗辊泡沫塑料脱水擦洗辊、酒精擦洗辊和脱水挤压辊转动，启动清洗液循环泵，开始清洗；

5）清洗液从清洗液循环管中喷出与传送带表面沉积的金属物发生反应，使金属沉积物反应脱落，传送带向前经过清洗液擦洗辊时粘附在表面的清洗液被泡沫塑料擦干辊吸收，而后被脱水挤压辊一挤出落入清洗液汇集槽回流到清洗液储存箱；

6）传送带向前经过清水擦洗装置时，喷水管喷出自来水和旋转的泡沫塑料擦洗辊洗去残留的清洗液，在经过泡沫塑料脱水擦洗辊时，传送带表面的水被泡沫塑料脱水擦洗辊吸走，再被脱水挤压辊二挤出，汇集排入乏水汇集槽；