[发明专利]离子生成装置及离子生成方法

权利要求书

1.一种离子生成装置，其特征在于，具备：

电弧室，至少一部分由含有碳的材料构成；

热电子放出部，向所述电弧室内放出热电子；及

气体导入部，将源气体及Cokes气体导入所述电弧室内，

导入所述电弧室的所述源气体含有选自包括BF₃、GeF₄及PF₃的组中的至少一种气体，

导入所述电弧室的所述Cokes气体含有碳氢化合物。

2.根据权利要求1所述的离子生成装置，其特征在于，

所述碳氢化合物为选自包括CH₄、C₂H₆、C₃H₈及C₄H₁₀的组中的至少一种气体。

3.根据权利要求1或2所述的离子生成装置，其特征在于，

所述电弧室的除灯丝及阴极之外的内壁表面由碳构成。

4.一种离子生成方法，其特征在于，具备：

导入工序，将源气体及Cokes气体导入至少一部分由含有碳的材料构成的电弧室内；

放出工序，向所述电弧室内部放出热电子；

生成工序，通过所述源气体和所述热电子的碰撞而生成等离子体；及

引出工序，从所述等离子体向外部引出离子，

导入所述电弧室的所述源气体中含有选自包括BF₃、GeF₄及PF₃的组中的至少一种气体，

导入所述电弧室的所述Cokes气体中含有碳氢化合物。

5.根据权利要求4所述的离子生成方法，其特征在于，

所述生成工序中电弧室内的温度为600℃以上。

6.根据权利要求4或5所述的离子生成方法，其特征在于，所述碳氢化合物为选自包括CH₄、C₂H₆、C₃H₈及C₄H₁₀的组中的至少一种气体。

7.根据权利要求4或5所述的离子生成方法，其特征在于，

在所述导入工序中，除导入所述源气体及所述Cokes气体之外，还导入稀有气体。

8.根据权利要求4或5所述的离子生成方法，其特征在于，

所述离子生成方法还具备排出工序，该排出工序将包含在所述源气体中的卤素作为卤化氢而排出。