[发明专利]真空泵及其运转方法

说明书

技术领域

本发明涉及从真空腔室等密闭容器抽吸气体的真空泵，尤其涉及一种具有逆变器装置的真空泵，其中，该逆变器装置具备用于避免由过电压及/或过电流导致的故障的保护功能。

背景技术

干式真空泵作为半导体装置的制造设备被广泛使用。在半导体装置的制造过程中有在真空空间中进行产品的处理的工序，为了形成该真空空间而使用干式真空泵。

干式真空泵通常用逆变器装置进行马达控制，以输出所希望的转矩、或者为了节能或控制真空空间的压力而使运转速度变化。存在为了避免由过电压及/或过电流等错误导致的故障而具有保护自身的保护功能的逆变器装置。该类型的逆变器装置构成为当检测到错误时，保护功能工作并使逆变器装置的运转停止。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010—127107号公报

专利文献2：日本特开2011—89428号公报

发明内容

然而，当在半导体装置的生产过程中干式真空泵突然停止运转时，真空空间内的压力上升，对生产中的产品(半导体装置)带来损伤，产生不良品。

因此，本发明的目的在于，提供一种真空泵及其运转方法，能够降低由错误的发生导致的运转停止的频率。

用于解决课题的手段

为了实现上述目的，本发明的第1方案是，一种真空泵，其特征在于，具有：对气体进行排气的泵组件；驱动上述泵组件的马达；向上述马达提供频率可变的交流电的逆变器装置；以及控制上述逆变器装置的控制装置，在发生了由过电压或者过电流导致的错误的情况下，上述逆变器装置停止自身的运转，如果上述错误的发生满足规定的条件，则上述控制装置使上述逆变器装置重启。

本发明的第2方案是，一种真空泵，其特征在于，具有：对气体进行排气的泵组件；驱动上述泵组件的马达；对上述马达提供频率可变的交流电的逆变器装置；以及控制上述逆变器装置的控制装置，在发生了由过电压或者过电流导致的错误的情况下，上述逆变器装置停止自身的运转，上述控制装置将错误解除信号发送至上述逆变器装置，上述错误接触信号用于解除在预定的期间内发生的错误，若上述逆变器装置接收到上述错误解除信号，则在上述预定的期间内发生了上述错误的情况下上述逆变器装置不使自身的运转停止。

本发明的第3方案是，一种真空泵，其特征在于，具有：对气体进行排气的泵组件；驱动上述泵组件的马达；对上述马达提供频率可变的交流电的逆变器装置；以及控制上述逆变器装置的控制装置，在发生了错误产生的情况下，上述逆变器装置停止自身的运转，上述控制装置在上述逆变器装置的运转停止后使该逆变器装置重启，在设定时间内发生的错误的次数达到规定的阈值的情况下，不使上述逆变器装置重启。

本发明的第4方案是，一种真空泵的运转方法，上述真空泵具有：对气体进行排气的泵组件；驱动上述泵组件的马达；对上述马达提供频率可变的交流电的逆变器装置；以及控制上述逆变器装置的控制装置，该真空泵的运转方法的特征在于，在发生了由过电压或者过电流导致的错误产生的情况下，使上述逆变器装置的运转停止，如果上述错误的发生满足规定的条件，则使上述逆变器装置重启。

本发明的第5方案是，一种真空泵的运转方法，上述真空泵具有：对气体进行排气的泵组件；驱动上述泵组件的马达；对上述马达提供频率可变的交流电的逆变器装置；以及控制上述逆变器装置的控制装置，该真空泵的运转方法的特征在于，在发生了由过电压或者过电流导致的错误产生的情况下，使上述逆变器装置的运转停止，将错误解除信号发送至上述逆变器装置，上述错误解除信号用于解除在预定的期间内发生的错误，在上述预定期间内发生了上述错误的情况下不使上述逆变器装置的运转停止。

本发明的第6方案是，一种真空泵的运转方法，上述真空泵具有：对气体进行排气的泵组件；驱动上述泵组件的马达；对上述马达提供频率可变的交流电的逆变器装置；以及控制上述逆变器装置的控制装置，该真空泵的运转方法的特征在于，在发生了错误的情况下，使上述逆变器装置的运转停止，在上述逆变器装置的运转停止后使该逆变器装置重启，在设定时间内发生的错误的次数达到规定的阈值的情况下，不使上述逆变器装置重启。

发明效果

根据本发明的第1方案及第4方案，在错误在规定的条件下发生的情况下，使逆变器装置重启。该规定的条件是如下的错误的发生条件，即预测为即使逆变器装置继续运转，逆变器装置也不会发生故障。通过这样的错误监视控制，能够减少由错误的发生导致的泵的运转停止的频率。