[发明专利]真空泵及其运转方法

权利要求书

1.一种真空泵，其特征在于，具有：

对气体进行排气的泵组件；

驱动所述泵组件的马达；

向所述马达提供频率可变的交流电的逆变器装置；以及

控制所述逆变器装置的控制装置，

在发生了由过电压或过电流导致的错误的情况下，所述逆变器装置停止自身的运转，

如果所述错误的发生满足规定的条件，则所述控制装置在所述马达完全停止前使所述逆变器装置重启，从而使所述泵组件的运转继续。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

所述规定的条件是，从停电恢复而重新开始电力供给开始在规定的时间以内发生了错误。

3.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

所述规定的条件是，从所述逆变器装置按照来自所述控制装置的指令使所述马达的减速开始的时刻开始在规定的时间以内发生了错误。

4.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

所述规定的条件是，在所述逆变器装置使所述马达以比其额定速度低的空转速度旋转时发生了错误。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的真空泵，其特征在于，

所述控制装置对所述错误发生的次数进行计数，当在规定的监视时间内未发生所述错误时将所述计数的次数重置为0，在所述计数的次数达到规定的阈值的情况下，不使所述逆变器装置重启。

6.一种真空泵，其特征在于，具有：

对气体进行排气的泵组件；

驱动所述泵组件的马达；

向所述马达提供频率可变的交流电的逆变器装置；

对时间进行计测的计时器；以及

控制所述逆变器装置的控制装置，

在发生了由过电压或过电流导致的错误的情况下，所述逆变器装置停止自身的运转，

所述控制装置将错误解除信号发送至所述逆变器装置，所述错误解除信号用于解除在预定的期间内发生的错误，

若所述逆变器装置接收到所述错误解除信号，则在所述预定的期间内发生了所述错误的情况下所述逆变器装置不使自身的运转停止，从而使所述泵组件的运转继续。

7.根据权利要求6所述的真空泵，其特征在于，

所述预定的期间是，从停电恢复而重新开始电力供给的时刻到经过规定的时间为止的期间。

8.根据权利要求6所述的真空泵，其特征在于，

所述预定的期间是，从所述逆变器装置按照来自所述控制装置的指令使所述马达的减速开始的时刻到经过规定的时间为止的期间。

9.根据权利要求6所述的真空泵，其特征在于，

所述预定的期间是，所述逆变器装置使所述马达以比其额定速度低的空转速度旋转的期间。

10.根据权利要求6至9中任一项所述的真空泵，其特征在于，

所述控制装置对所述错误发生的次数进行计数，当在规定的监视时间内未发生所述错误时将所述计数的次数重置为0，在所述计数的次数达到规定的阈值的情况下，不将所述错误解除信号发送至所述逆变器装置。

11.一种真空泵，其特征在于，具有：

对气体进行排气的泵组件；

驱动所述泵组件的马达；

向所述马达提供频率可变的交流电的逆变器装置；以及

控制所述逆变器装置的控制装置，

在发生了错误的情况下，所述逆变器装置停止自身的运转，

所述控制装置在所述逆变器装置的运转停止后使该逆变器装置立即重启，在设定时间内发生的错误的次数达到规定的阈值的情况下，不使所述逆变器装置重启。

12.根据权利要求11所述的真空泵，其特征在于，

所述控制装置构成为，具有计测时间的多个计时器，所述多个计时器的台数与从所述规定的阈值减去1而得到的数值相等，所述多个计时器的每一个分别在所计测的时间达到所述设定时间时结束时间的计测，

所述控制装置在每当错误发生时使所述多个计时器中的某一个启动，

在发生了错误时全部的所述多个计时器均正在执行时间的计测的情况下，所述控制装置不使所述逆变器装置重启。