[发明专利]外观检查装置

权利要求书

1.一种外观检查装置，其特征在于，具备：搬送机构，沿规定的搬送面搬送检查对象物；及检查机构，用于测定通过该搬送机构搬送的所述检查对象物的厚度；且

所述检查机构具备：狭缝光照射部，配设于所述搬送机构的附近，将带状狭缝光以相对于所述搬送面垂直、且其照射线与所述检查对象物的搬送方向正交的方式照射至所述检查对象物表面及搬送面；

区域传感器相机，拍摄照射至所述检查对象物表面及搬送面的狭缝光的图像；

至少一个第一光学机构，具有从沿所述检查对象物的搬送方向的下游侧或上游侧接收照射至所述检查对象物表面的狭缝光的反射光并将其引导至所述区域传感器相机的光学路径；

至少一个第二光学机构，具有从与所述第一光学机构相同的方向接收照射至所述搬送面的狭缝光的反射光并将其引导至所述区域传感器相机的光学路径；以及

检查部，基于通过所述区域传感器相机拍摄到的图像，而测定所述检查对象物的厚度；且

所述第一光学机构及第二光学机构的各光学路径为使所述检查对象物表面及搬送面的各反射光在所述区域传感器相机的成像部上沿光栅方向横向排列地成像的路径；

所述的外观检查装置还具备：

第一反射镜，具有与所述搬送方向正交且沿与所述搬送面平行的第一轴的轴向而配设的反射面，并在所述反射面接收并反射照射至所述检查对象物表面的狭缝光的反射光；

第二反射镜，具有与所述搬送方向正交且沿所述第一轴配设、且相对于所述第一反射镜的反射面倾斜的反射面，且邻接于所述第一反射镜而配设，并在所述反射面接收并反射照射至所述搬送面的狭缝光的反射光；

第三反射镜，具有沿与所述搬送面正交的第二轴的轴向而配设的反射面，且接收并反射被所述第一反射镜及第二反射镜反射的光；以及

第四反射镜，具有沿所述搬送方向配设的反射面，且接收并反射被所述第三反射镜反射的光，并将该反射光引导至所述区域传感器相机；且

在所述第一光学机构中，通过所述第一反射镜、第三反射镜及第四反射镜划定来自检查对象物表面的反射光的光学路径；且，

在所述第二光学机构中，通过所述第二反射镜、第三反射镜及第四反射镜划定来自搬送面的反射光的光学路径。

2.根据权利要求1所述的外观检查装置，其特征在于：

所述第二反射镜包括沿所述第一轴配设于所述第一反射镜的两侧的两个为一对的反射镜。