[发明专利]一种用于晶舟装载机械手的轴连接器

说明书

技术领域

本发明涉及半导体集成电路的晶舟装载设备领域，更具体地，涉及一种用于晶舟装载机械手的可调节轴向间隙的轴连接器。

背景技术

晶舟装载设备广泛应用于半导体、太阳能光伏产业中的自动送料系统。很多工艺设备例如卧式扩散炉，在工艺前都需要先通过晶舟装载设备的机械手升起，将装有硅片的晶舟放置到推拉舟上，然后，再由推拉舟将晶舟送入炉管进行工艺；工艺后推拉舟将晶舟拉出炉管后，再由晶舟装载设备的机械手将晶舟从推拉舟取下供进一步流转。

请参阅图1，图1是现有的一种晶舟装载机械手的结构示意图。如图1所示，以扩散工艺前晶舟装载机械手将晶舟输送到推拉舟上为例，先将晶舟(图示省略)装载在两个等高安装的联动机械手2-1、2(其中1个连接升降驱动机构5的是主动机械手2-1，另1个是从动机械手2)上，并通过装置底部的升降驱动机构5(图示为局部)驱使两个机械手2-1、2沿二个升降臂4、3垂直上升；当机械手2-1、2到达预定高度后，停止垂直移动，再由主动机械手2-1内部设置的水平驱动机构(图中未示出)驱使两个机械手2-1、2水平移动，将其承载的晶舟水平送至推拉舟(图示省略)上方；接着，再次启动升降驱动机构5将机械臂2-1、2下降，使晶舟降落在推拉舟上。

在上述机械手2-1、2将晶舟水平送至推拉舟上方的过程中，为了使晶舟在运送过程中保持平衡，需要两个机械手2-1、2同步运动，并保持在相同的水平位置状态。为了实现此目的，通过用传动轴1将两个机械手2-1、2进行连接的方式来实现两个机械手2-1、2的同步运动，以保证两个机械手2-1、2在运动中处于水平位置状态。

请进一步参阅图2，图2是图1中A部的局部放大示意图。如图2所示，在实际使用传动轴对两个机械手2-1、2进行连接时，为便于安装，是在两个机械手2-1、2自身的传动轴1-1(图示了其中从动机械手2的传动轴1-1)之间加设1根较长的传动轴1-2，并通过轴连接器6将它们连接起来形成一体来实现的。轴连接器6包括二个内侧相固定连接的半轴连接器，二个半轴连接器的外侧分别连接传动轴1-1、1-2。主动机械手2-1通过带有轴连接器6的传动轴1(由从动机械手2的传动轴1-1、传动轴1-2和主动机械手2-1的传动轴组成)带动从动机械手2的转动，从而实现两个机械手2-1、2的同步水平运动。

上述现有的机械手在升降及水平运动过程中，因其承载有一定重量的晶舟，升降距离较长，且两个机械手之间具有相当的距离，因此，在当主动机械手的转动力矩向从动机械手传递时，是存在一定的滞后性的。这种滞后性带来了从动机械手相对主动机械手的瞬间运动滞后，使两个机械手的位置产生不一致，造成两个机械手之间产生相对拉力，即传动轴整体上会受到向外的拉力作用。由于现有的轴连接器的二个半轴连接器之间是固定连接的，在机械手承载有较重的晶舟时，如果上述传动轴受到向外的拉力作用时，由于无法将此轴向拉力卸除，即会发生两个机械手之间的位置不一致(即传动轴与机械手之间偏离垂直角度状态)。这会使整个轴系中的各个连接部件受到较强的径向力，很容易造成机械手连接部件的损伤，以致降低设备运行的安全性，缩短设备检修周期，影响生产效率，严重时甚至会发生晶舟因此而倾覆的事故。

所以，如何卸除连接两个机械手之间的传动轴轴系中产生的轴向拉力，避免机械手连接部件的损伤，成为一个急需解决的问题。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种用于晶舟装载机械手的轴连接器，通过使所述轴连接器相互套接的二个半轴连接器之间形成轴向相对滑动，来增大主动机械手和从动机械手之间的轴向连接距离，以适应其联动不一致时产生的轴向相对位移，从而抵消了连接两个机械手之间的传动轴轴系中产生的轴向拉力，避免了机械手连接部件的损伤。

为实现上述目的，本发明的技术方案如下：

一种用于晶舟装载机械手的轴连接器，所述机械手包括等高滑动分设在相对的升降臂上的主动机械手和从动机械手，所述主动机械手和从动机械手的水平传动轴之间通过所述轴连接器连接形成联动，对所述机械手上承载的晶舟进行水平运送，所述轴连接器包括：

第一半轴连接器，为凸台形，包括凸台部和台座部，所述凸台的侧面设有安装孔；

第二半轴连接器，为套筒形，其套筒内侧设有凹槽，所述套筒通过所述凹槽与所述凸台套接，所述套筒的侧面设有贯通所述凹槽的等宽长孔，所述长孔的长轴与所述轴连接器的轴向平行设置，所述第二半轴连接器通过穿过所述长孔并固接所述第一半轴连接器的所述安装孔的紧固件与所述第一半轴连接器形成轴向滑动连接；