[发明专利]一种用于晶舟装载机械手的轴连接器在审

专利信息
申请号: 201410638503.1 申请日: 2014-11-06
公开(公告)号: CN104505358A 公开(公告)日: 2015-04-08
发明(设计)人: 桂晓波;朱旺平;王广明 申请(专利权)人: 北京七星华创电子股份有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31275 代理人: 陶金龙;林彦之
地址: 100016*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 装载 机械手 连接器
【权利要求书】:

1.一种用于晶舟装载机械手的轴连接器,所述机械手包括等高滑动分设在相对的升降臂上的主动机械手和从动机械手,所述主动机械手和从动机械手的水平传动轴之间通过所述轴连接器连接形成联动,对所述机械手上承载的晶舟进行水平运送,其特征在于,所述轴连接器包括:

第一半轴连接器,为凸台形,包括凸台部和台座部,所述凸台的侧面设有安装孔;

第二半轴连接器,为套筒形,其套筒内侧设有凹槽,所述套筒通过所述凹槽与所述凸台套接,所述套筒的侧面设有贯通所述凹槽的等宽长孔,所述长孔的长轴与所述轴连接器的轴向平行设置,所述第二半轴连接器通过穿过所述长孔并固接所述第一半轴连接器的所述安装孔的紧固件与所述第一半轴连接器形成轴向滑动连接;

所述台座、所述套筒的外侧分别连接所述从动机械手或主动机械手的所述传动轴;其中,所述第二半轴连接器与所述第一半轴连接器之间通过产生轴向相对滑动,使所述主动机械手和从动机械手之间的轴向连接距离增大,以抵消所述主动机械手和从动机械手联动不一致时产生的轴向拉力。

2.根据权利要求1所述的轴连接器,其特征在于,所述凸台的侧面和所述套筒的侧面分设有1~4对相对应的所述安装孔和所述长孔,所述第二半轴连接器通过分别穿过每个所述长孔并固接所述第一半轴连接器的每个所述安装孔的紧固件与所述第一半轴连接器之间形成轴向滑动连接。

3.根据权利要求1或2所述的轴连接器,其特征在于,所述第二半轴连接器与所述第一半轴连接器之间的轴向滑动距离不大于5毫米。

4.根据权利要求1或2所述的轴连接器,其特征在于,所述紧固件的外径与所述长孔的宽度相对应,并形成间隙配合,所述紧固件一端固接所述安装孔,另一端垂直穿过所述长孔形成轴向滑动配合。

5.根据权利要求4所述的轴连接器,其特征在于,所述紧固件在所述长孔内的轴向滑动距离不大于5毫米。

6.根据权利要求1或2所述的轴连接器,其特征在于,所述紧固件为销钉,所述销钉与所述安装孔螺纹连接。

7.根据权利要求1所述的轴连接器,其特征在于,所述凸台的横截面为圆形,所述凹槽具有与所述凸台相对应间隙配合的圆形横截面。

8.根据权利要求1所述的轴连接器,其特征在于,所述凸台的横截面为非圆形,所述凹槽具有与所述凸台相对应间隙配合的非圆形横截面。

9.根据权利要求8所述的轴连接器,其特征在于,所述凸台的横截面为三角形、矩形或多边形,所述凹槽具有与所述凸台相对应间隙配合的三角形、矩形或多边形横截面。

10.根据权利要求1所述的轴连接器,其特征在于,所述台座、所述套筒的外侧分别设有轴槽,所述第二半轴连接器和所述第一半轴连接器通过所述轴槽分别与所述主动机械手或从动机械手的所述传动轴之间形成键槽配合并固接。

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